Проектирование, изготовление и исследование интерференционных покрытий. Котликов Е.Н - 7 стр.

UptoLike

Рубрика: 

7
ЧАСТЬ I. АНАЛИЗ И СИНТЕЗ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ
ПОКРЫТИЙ
1.1. Модель для расчета интерференционных покрытий
Разработка и изготовление интерференционных покрытий [2, 3, 4, 6, 9, 13,
14] содержит ряд этапов. На первом этапе разработки сначала формулируют
требования, предъявляемые к покрытию. Далее выбирается структура покрытия,
определяется число слоев, их параметры, оценивается устойчивость покрытия к
ошибкам параметров слоев при напылении; наконец, вырабатываются
технологические рекомендации по изготовлению данного типа покрытия. Второй
этап включает собственно изготовление покрытий: отработку технологии
изготовления, конструирование покрытия, его изготовление на конкретной
установке. Наконец, на последнем этапе проводят исследование покрытия,
определение спектральных характеристик, механической прочности,
влагостойкости, лучевой стойкости и т. д.
Требования к оптическим характеристикам покрытий определяются
характером их применения. Для покрытий силовой оптики наиболее
существенным становится требование на минимизацию оптических потерь и
лучевую стойкость. В ряде случаев в угоду этим требованиям снижаются
требования к спектральным и эксплуатационным характеристикам.
Выбор структуры покрытия и последующее определение параметров слоев
определяет задачу конструирования. Ее обычно разделяют на две задачи. Первая
задача - задача анализа покрытий [3, 4]-заключается в расчете спектральных
характеристик покрытия по известной структуре покрытия. Определяются
спектры отражения, пропускания и поглощения, фазовые набеги при отражении
и пропускании. Эта задача решена в аналитическом виде вплоть до трехслойных
покрытий. В принципе, она может быть решена аналитически и для покрытий из
большего числа слоев, но в этом случае решения настолько громоздки, что не
представляют ценности, и их обычно находят численными методами с
использованием компьютера.
Задача нахождения структуры покрытия по заданным спектральным
характеристикам - задача синтеза покрытий - является обратной по отношению к
задаче анализа. Разработан аналитический и численный подходы к решению
этой задачи. Компьютерные методы синтеза основаны на введении некоторой
функции качества, которая численно оценивает отклонение аппроксимирующей
функции от заданной. Минимальному значению показателя качества
соответствует найденное решение.
На заключительном этапе конструирования покрытий исследуется
влияние на спектральные и фазовые характеристики различных
дестабилизирующих факторов, связанных с особенностями технологических