ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
8
кластеров таковы, что темпы слияния выше темпов коагуляции, то нанокластеры
имеют сферическую форму. Однако с течением времени размеры частиц растут,
температура в реакторе понижается, вследствие чего процессы слияния начинают
протекать медленнее, чем процессы коагуляции, в результате чего образуются
частицы с нерегулярной сложной формой.
Важно понять, что синтез кластеров в газовой фазе не позволяет получить
кластеры строго определенного размера и геометрии. В результате синтеза
образуются кластеры разного размера, а величина разброса по размерам кластеров
определяется условиями синтеза.
2 МЕТОД СВЕРХЗВУКОВОГО КЛАСТЕРНОГО ПУЧКА
2.1 Сверхзвуковой кластерный пучок
Рассмотрим метод осаждения кластеров с помощью сверхзвукового
кластерного пучка. Сверхзвуковой кластерный пучок можно описать как
смешанный поток кластеров и инертного газа, очень быстро расширяющийся
через сконструированное специальным образом сопло из области с более высоким
давлением (источника кластеров - области, где происходит образование
первоначальных кластеров) в область с более низким давлением. Инертный газ (а
также в некоторых случаях, для достижения целей эксперимента может
использоваться и неинертный газ) играет при этом роль «переносчика» кластеров.
Характеристики такого пучка во многом определяются размерами и формой
сопла, а также разностью давлений между двумя областями. Сверхзвуковой
кластерный пучок обладает высокой интенсивностью и достаточно высокой
степенью направленности, что позволяет производить нанесение кластеров и
тонких пленок с высокой скоростью их осаждения.
Сверхзвукового расширения удается достичь, если отношение давлений
вдоль сопла при движении потока кластеров поддерживается меньшим, чем
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 6
- 7
- 8
- 9
- 10
- …
- следующая ›
- последняя »
