ВУЗ:
Составители:
154
ОГЛАВЛЕНИЕ
1. ОЧИСТКА ПОДЛОЖЕК ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ И ДЕТАЛЕЙ
ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ ............................................................3
1.1. Лабораторная работа № 1........................................................................3
2. ТЕХНОЛОГИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК...........................................................24
2.1. Лабораторная работа № 2 Получение тонких пленок методом
термического испарения в вакууме ............................................................24
2.2. Лабораторная работа № 3 Нанесение тонких пленок методом
катодного распыления...................................................................................31
2.3. Лабораторная работа № 4 Получение пленок методом ионно-
плазменного распыления..............................................................................36
2.4. Лабораторная работа № 5 Получение пленок методом
магнетронного распыления ..........................................................................48
2.5. Методы изучения свойств полученных пленок ..................................58
2.6. Лабораторная работа № 6 Фотолитография ........................................70
3. ИЗГОТОВЛЕНИЕ ОКСИДНОГО КАТОДА И ЕГО
ИСПЫТАНИЕ В РАЗБОРНОЙ ЛАМПЕ ........................................................75
3.1. Лабораторная работа №7.......................................................................75
3.1.1. Синтез карбонатов щелочноземельных металлов .......................76
3.1.2. Испытание карбонатов щелочноземельных металлов ................88
3.1.3. Монтаж арматуры лампы ...............................................................94
3.1.4. Приготовление карбонатной суспензии и нанесение покрытия на
керн катода ...............................................................................................100
3.1.5. Вакуумная обработка катода в разборной диодной лампе .......105
3.1.6. Тренировка и испытание катода в диодной лампе ....................111
4. ТЕХНОЛОГИЯ ЛЮМИНОФОРОВ И ЛЮМИНЕСЦИРУЮЩИХ
ПОКРЫТИЙ.....................................................................................................117
4.1. Лабораторная работа №8 Синтез и исследование люминофоров...117
4.2. Лабораторная работа №9 Определение модуля и концентрации
раствора силиката........................................................................................133
4.3. Лабораторная работа № 10 Оценка мокрой прочности экрана .......137
4.4. Лабораторная работа №11 Нанесение люминесцирующего
покрытия методом катафореза...................................................................144
4.5. Лабораторная работа №12 Ознакомление с технологией
нанесения люминофора методом фотопечати..........................................148
ОГЛАВЛЕНИЕ
1. ОЧИСТКА ПОДЛОЖЕК ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ И ДЕТАЛЕЙ
ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ ............................................................ 3
1.1. Лабораторная работа № 1 ........................................................................ 3
2. ТЕХНОЛОГИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК........................................................... 24
2.1. Лабораторная работа № 2 Получение тонких пленок методом
термического испарения в вакууме ............................................................ 24
2.2. Лабораторная работа № 3 Нанесение тонких пленок методом
катодного распыления................................................................................... 31
2.3. Лабораторная работа № 4 Получение пленок методом ионно-
плазменного распыления .............................................................................. 36
2.4. Лабораторная работа № 5 Получение пленок методом
магнетронного распыления .......................................................................... 48
2.5. Методы изучения свойств полученных пленок .................................. 58
2.6. Лабораторная работа № 6 Фотолитография ........................................ 70
3. ИЗГОТОВЛЕНИЕ ОКСИДНОГО КАТОДА И ЕГО
ИСПЫТАНИЕ В РАЗБОРНОЙ ЛАМПЕ ........................................................ 75
3.1. Лабораторная работа №7 ....................................................................... 75
3.1.1. Синтез карбонатов щелочноземельных металлов .......................76
3.1.2. Испытание карбонатов щелочноземельных металлов ................88
3.1.3. Монтаж арматуры лампы ...............................................................94
3.1.4. Приготовление карбонатной суспензии и нанесение покрытия на
керн катода ...............................................................................................100
3.1.5. Вакуумная обработка катода в разборной диодной лампе .......105
3.1.6. Тренировка и испытание катода в диодной лампе ....................111
4. ТЕХНОЛОГИЯ ЛЮМИНОФОРОВ И ЛЮМИНЕСЦИРУЮЩИХ
ПОКРЫТИЙ..................................................................................................... 117
4.1. Лабораторная работа №8 Синтез и исследование люминофоров... 117
4.2. Лабораторная работа №9 Определение модуля и концентрации
раствора силиката........................................................................................ 133
4.3. Лабораторная работа № 10 Оценка мокрой прочности экрана ....... 137
4.4. Лабораторная работа №11 Нанесение люминесцирующего
покрытия методом катафореза................................................................... 144
4.5. Лабораторная работа №12 Ознакомление с технологией
нанесения люминофора методом фотопечати.......................................... 148
154
