ВУЗ:
РАБОЧАЯ ПРОГРАММА ДИСЦИПЛИНЫ
«ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ»
Томск – 2005
I. Oрганизационно-методический раздел
1. Цель курса
Курс читается в рамках магистерской подготовки по направлению 510400 – “ФИЗИКА”,
программа “Физика полупроводников и микроэлектроника”. Основная цель - формирование
у студента представлений о физике, технике и возможностях электронномикроскопического
анализа, практических навыков работы с аппаратурой и стандартными электронномикро-
скопическими изображениями.
2. Задачи учебного курса
Основные
задачи курса - дать студентам базовые сведения по просвечивающей
электронной микроскопии: устройство и основные характеристики прибора,
взаимодействие электронов с веществом и теории формирования контраста, интерпретация
изображений.
Спецкурс базируется на курсах общей физики, квантовой механики, спецкурсах кри-
сталлографии, рентгеноструктурного анализа.
3. Требования к уровню освоения курса
Студент должен знать основы физики формирования
электронных потоков, процессов,
протекающих в твердом теле при его взаимодействии с излучением, основные методы иссле-
дований, используемые в электронной микроскопии, уметь анализировать стандартные элек-
тронномикроскопические изображения объектов.
II. Содержание курса
1. Темы и краткое содержание
№ Тема Содержание
1. Предмет и история
электронной микроско-
пии. Электронная опти-
ка.
Формирование изображений в световой и электронной
оптике. Разрешающая способность световой и электронной
оптики. Электростатические и электромагнитные линзы.
Типы электронных микроскопов.
2. Устройство электрон-
ного микроскопа.
Электронная пушка, конденсорная система линз,
объективная, промежуточная проекционная линзы. Глубина
поля и глубина фокуса электронного микроскопа.
Юстировка, определение увеличения и разрешающей
способности электронного микроскопа.
3. Дефекты изображения в
электронных линзах
Cферическая абберация, хроматическая абберация,
астигматизм.
4. Взаимодействия элект-
ронов с веществом.
Основные эффекты. Резерфордовское рассеяние. Понятие о
предельной толщине прозрачного образца.
5. Дифракция электронов.
Элементы кристаллографии, обратная решетка. Дифракция
от линейной и трехмерной решетки. Метод микродифракции.
Геометрия дифракционной картины электронов. Типы
электронограмм.
6. Атомное рассеяние.
Структурный фактор. Кинематическая теория контраста.
Интенсивность дифрагированных пучков. Амплитудно-
