Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 1 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

ÑÈÑÒÅÌÛ ÒÅÕÍÎËÎÃÈÉ

ÊÎÌÏÜÞÒÅÐÍÎÃÎ ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ

ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÈÍÒÅÃÐÀËÜÍÛÕ ÌÈÊÐÎÑÕÅÌ

Ó÷åáíîå ïîñîáèå

Ñàíêò-Ïåòåðáóðã

2000

ÌÈÍÈÑÒÅÐÑÒÂÎ ÎÁÐÀÇÎÂÀÍÈß ÐÎÑÑÈÉÑÊÎÉ ÔÅÄÅÐÀÖÈÈ

Ñàíêò-Ïåòåðáóðãñêèé

ãîñóäàðñòâåííûé óíèâåðñèòåò àýðîêîñìè÷åñêîãî ïðèáîðîñòðîåíèÿ

Â. À. Ëîïóõèí, Ä. Ê. Øåëåñò