Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 4 стр.

UptoLike

Составители: 

4
1. ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ.
ÈÍÒÅÃÐÀËÜÍÛÅ ÌÈÊÐÎÑÕÅÌÛ
Ìèêðîýëåêòðîíèêà ÿâëÿåòñÿ ñîâðåìåííûì íàïðàâëåíèåì ýëåêòðîíè-
êè, ïîçâîëÿþùèì ñ ïîìîùüþ ñëîæíîãî êîìïëåêñà ôèçè÷åñêèõ, õèìè-
÷åñêèõ, ñõåìîòåõíè÷åñêèõ, òåõíîëîãè÷åñêèõ è äðóãèõ ìåòîäîâ è ïðè-
åìîâ ðåøèòü ïðîáëåìó ñîçäàíèÿ âûñîêîíàäåæíûõ è ýêîíîìè÷íûõ ìè-
íèàòþðíûõ ñõåì è óñòðîéñòâ.
Âûñîêîíàäåæíûå ìèêðîýëåêòðîííûå óñòðîéñòâà ìîãóò áûòü ïîëó-
÷åíû èñêëþ÷åíèåì íåíàäåæíûõ ýëåìåíòîâ, ñîâåðøåíñòâîâàíèåì òåõ-
íîëîãè÷åñêèõ ìåòîäîâ èçãîòîâëåíèÿ ýëåìåíòîâ è ñîåäèíåíèé, ñíèæåíè-
åì ðàáî÷èõ ìîùíîñòåé è óìåíüøåíèåì êðèòè÷íîñòè ðåæèìîâ ðàáîòû,
èñïîëüçîâàíèåì íîâûõ ñõåì, à òàêæå ïîñòðîåíèåì ýëåìåíòîâ è óñòðîéñòâ
íà íîâûõ ôèçè÷åñêèõ ïðèíöèïàõ. Ñíèæåíèå ñòîèìîñòè óñòðîéñòâ ìî-
æåò áûòü äîñòèãíóòî èñêëþ÷åíèåì íåðàöèîíàëüíûõ îïåðàöèé, ñîêðà-
ùåíèåì ÷èñëà ñîåäèíåíèé, èñêëþ÷åíèåì ðàçäåëüíîé ãåðìåòèçàöèè ýëå-
ìåíòîâ è ïåðåõîäîì ê ãåðìåòèçàöèè ñõåì, óçëîâ è öåëûõ áëîêîâ.
1.1. Êëàññèôèêàöèÿ è îñíîâíûå ýòàïû
èçãîòîâëåíèÿ ìèêðîñõåì
Êëàññèôèêàöèÿ ìèêðîñõåì. Ïî êîíñòðóêòèâíî-òåõíîëîãè÷åñêîìó
èñïîëíåíèþ ñòðóêòóð èíòåãðàëüíûå ìèêðîñõåìû ïîäðàçäåëÿþò íà äâå
îñíîâíûå ãðóïïû (ðèñ. 1): ïîëóïðîâîäíèêîâûå è ãèáðèäíûå, ïðî÷èå (ïëå-
íî÷íûå, âàêóóìíûå, êåðàìè÷åñêèå è äð.).
Ïîëóïðîâîäíèêîâîé (ÏÈÌ) íàçûâàþò ìèêðîñõåìó, âñå ýëåìåíòû è
ìåæýëåìåíòíûå ñîåäèíåíèÿ êîòîðîé âûïîëíåíû â îáúåìå è íà ïîâåðõ-
íîñòè ïîëóïðîâîäíèêîâîé ïëàñòèíû; ôîðìèðóåòñÿ íà îñíîâå áèïîëÿð-
íûõ èëè ÌÎÏ-òðàíçèñòîðîâ.
Ïëåíî÷íîé íàçûâàþò ìèêðîñõåìó, âñå ýëåìåíòû, ìåæýëåìåíòíûå
ñîåäèíåíèÿ è êîíòàêòíûå ïëîùàäêè êîòîðîé âûïîëíåíû íà äèýëåêòðè-
÷åñêîé ïîäëîæêå â âèäå ïëåíîê. ×àñòíûì ñëó÷àåì ÃÈÌ ÿâëÿþòñÿ ìíî-
ãîêðèñòàëüíûå ÈÌ.