Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 109 стр.

UptoLike

Составители: 

109
Ðàçëè÷àþò òîêîíåïðîâîäÿùèå è òîêîïðîâîäÿùèå êëåè. Äëÿ ïîëó÷å-
íèÿ ñîåäèíåíèé êëåé äîçèðîâàííî íàíîñÿò íà ïîâåðõíîñòè, ïðèâîäÿò èõ
â êîíòàêò è ïðè íàëè÷èè èëè áåç ñæèìàþùèõ óñèëèé ïðîèçâîäÿò îòâåð-
æäåíèå êëåÿ. Ïðè îòâåðæäåíèè ïðîèñõîäèò óñàäêà êëåÿ. Ìåõàíè÷åñêèå
íàïðÿæåíèÿ, âîçíèêàþùèå ïðè ýòîì, îáåñïå÷èâàþò ñòÿãèâàíèå è ïëîò-
íîå ìåõàíè÷åñêîå ñîåäèíåíèå äåòàëåé.
Òîêîíåïðîâîäÿùèå êëåè îáåñïå÷èâàþò âûñîêóþ ìåõàíè÷åñêóþ ïðî÷-
íîñòü ñîåäèíåíèé, êîòîðàÿ âîçíèêàåò ïðè íàëè÷èè âíåøíåãî ñæèìàþ-
ùåãî óñèëèÿ. Îäíàêî ïðè ýòîì ïîÿâëÿåòñÿ âåðîÿòíîñòü ïðîõîæäåíèÿ
ýëåêòðè÷åñêîãî òîêà ïî ìåòàëëè÷åñêèì ïÿòíàì êàñàíèÿ äåòàëåé, ïóòåì
òóííåëüíîãî ïðîñà÷èâàíèÿ ýëåêòðîíîâ ÷åðåç òîíêóþ ïðîñëîéêó êëåÿ, à
òàêæå ïî ïðîâîäÿùèì êàíàëàì, ïîëó÷åííûì äèôôóçèåé ìåòàëëà ïî äå-
ôåêòíûì ó÷àñòêàì. Ñîåäèíåíèÿ ñ ïîìîùüþ òîêîïðîâîäÿùèõ êëååâ îá-
ëàäàþò áîëüøåé ýëåêòðîïðîâîäíîñòüþ, íî ìåíüøåé ìåõàíè÷åñêîé ïðî÷-
íîñòüþ. Óâåëè÷åíèå ìåõàíè÷åñêîé ïðî÷íîñòè äîñòèãàåòñÿ óìåíüøåíè-
åì ñîäåðæàíèÿ ìåòàëëè÷åñêîãî íàïîëíèòåëÿ.
Ïðî÷íîñòü êëååâîãî ñîåäèíåíèÿ çàâèñèò îò êà÷åñòâà ïîäãîòîâêè ñêëå-
èâàåìûõ ïîâåðõíîñòåé, òîëùèíû êëåÿ, ïðàâèëüíîñòè âûáîðà ðåæèìà,
êà÷åñòâà êëåÿ.
Ïåðåä ñêëåèâàíèåì ïîâåðõíîñòè òùàòåëüíî î÷èùàþò îò çàãðÿçíå-
íèé. Îðãàíè÷åñêèå ðàñòâîðèòåëè, èñïîëüçóåìûå äëÿ î÷èñòêè, äîëæíû
áûòü ïîëíîñòüþ óäàëåíû ñóøêîé. Îñòàòî÷íûé ðàñòâîðèòåëü ïðè îò-
âåðæäåíèè êëåÿ ñîçäàåò ïîðèñòîñòü è âíóòðåííèå íàïðÿæåíèÿ. Êîëè÷å-
ñòâî äåôåêòîâ â ñëîå êëåÿ óâåëè÷èâàåòñÿ ñ åãî òîëùèíîé, ïðî÷íîñòü
ñîåäèíåíèÿ óìåíüøàåòñÿ. Ïîýòîìó ðåêîìåíäóþò ñëîé êëåÿ îãðàíè÷è-
âàòü òîëùèíîé 0,050,1 ìì. Äëÿ îïåðàöèé ñáîðêè ïðèìåíÿþò êëåè íà
îñíîâå ýïîêñèäíûõ ñìîë, ïîëèèìèäà è äð.
8.3. Ìîíòàæ êðèñòàëëîâ è ïëàò
Ìåòîä ïðÿìîãî ìîíòàæà. Ðàáî÷åé ïîâåðõíîñòüþ ââåðõ ïîäñîå-
äèíÿþò ñòðóêòóðû ÈÌ ê îñíîâàíèÿì êîðïóñîâ, ïîñàäî÷íûì ïëîùàä-
êàì âûâîäíûõ ðàìîê èëè ëåíò, ê ïàññèâíîé ÷àñòè ÃÈÌ èëè ê äîïîëíè-
òåëüíûì êîíòàêòíûì ïëîùàäêàì.
Îñíîâíûå òðåáîâàíèÿ ê îïåðöèÿì ìîíòàæà: îáåñïå÷åíèå âûñîêîé
ìåõàíè÷åñêîé ïðî÷íîñòè ñîåäèíåíèé, õîðîøåãî òåïëîîòâîäà îò ñòðóê-
òóðû è â ðÿäå ñëó÷àåâ õîðîøåé ýëåêòðîïðîâîäíîñòè. Òåìïåðàòóðû è
ñæèìàþùèå óñèëèÿ ïðè âûïîëíåíèè ìîíòàæà íå äîëæíû áûòü ñëèøêîì