Математический синтез оптических наноструктур. Ловецкий К.П - 117 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

117

решения задачи синтеза на примере расчета практически стопроцентного

отражающего покрытия для лазерного излучения с опорной длиной волны

в 1.5 мкм.

Рис. 23. Пример расчета оптимальной геометрии дифракционного

зеркала

Расчетная модель изображена на рис. 21. Индекс преломления

материала дифракционной решетки (3.48), индекс преломления

промежуточного слоя (1.47) и индекс преломления кремниевой подложки

(3.48) считаются заданными. Оптимизация геометрических параметров

решетки с целью получения максимального отражения p-поляризованной

волны излучения в окрестности длины волны в 1.5 мк приводит к решению

со следующими параметрами:

период решетки равен 700 нм;

высота решетки равна 460 нм;

фактор заполнения решетки составляет 75%;

высота промежуточного слоя равна 830 нм.