Моделирование элементов микросистемной техники в программе ANSYS. Часть II. Лысенко И.Е - 25 стр.

UptoLike

1
X
Y
Z
3A Micromachined Gyroscope
A=11.111
B=33.333
C=55.556
D=77.778
E=100
F=122.222
G=144.444
H=166.667
I=188.889
FEB 14 2006
17:18:06
NODAL SOLUTION
STEP=1
SUB =1
TIME=1
VOLT (AVG)
RSYS=0
SMX =200
Рис. 22. Результаты решения электрической модели
при трехмерном электростатическом анализе
Рис. 23. Результаты решения механической модели
при трехмерном электростатическом анализе
25