ВУЗ:
Составители:
УДК 621.382.82(075)
Р е ц е н з е н т ы :
Воронежский государственный технический университет; А.В. Муратов,
д-р техн. наук, профессор, декан радиотехнического факультета;
Д.А. Сеченов , д-р техн. наук, профессор кафедры технологии микро- и
наноэлектронной аппаратуры Таганрогского государственного
радиотехнического университета.
Лысенко И.Е. Проектирование сенсорных и актюаторных элементов
микросистемной техники.– Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2005.– 103 с.
ISBN 5-8327-0231-X
В учебном пособии рассмотрены сенсорные и актюаторные элементы
микросистемной техники (МСТ) и средства их проектирования. В первом разделе
пособия кратко рассмотрены основные технологии изготовления элементов МСТ. Во
втором и третьем разделах описаны конструкции и принципы функционирования
сенсорных и актюаторных элементов МСТ, получивших наибольшее
распространение за последнее десятилетие. Четвертый раздел данного пособия
содержит описания существующих лабораторий-на-кристалле, принципов их работы
и применения. В пятом разделе излагаются основы систем автоматизированного
проектирования элементов микросистемной техники.
Табл. 8. Ил. 72. Библиогр.: 85 назв.
ISBN 5-8327-0231-X Таганрогский государственный
радиотехнический университет, 2005
И.Е. Лысенко, 2005
