Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 42 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

растает во время действия импульса напряжения

, соответственно изменяется

во времени и шаг )

(

h перемещения ротора.

Рис. 3.15. Принцип работы планарного микродвигателя

на основе тонких сегнетоэлектрических пленок:

1 – статор; 2 – ротор; 3 – лепесток; 4 – направляющие;

5 – диэлектрическая пленка; 6 – электрод; 7 – подложка

После прекращения действия импульса напряжения лепесток под дейст-

вием упругих сил, возникающих при его изгибе, возвращается в исходное по-

ложение А (при одиночном импульсе напряжения) или переходит в новое по

ложение С, характерное для непрерывного движения ротора (при подаче на

образец серии импульсов); при этом ротор продвигается по инерции на рас-

стояние

. От длительности этого процесса (процесса отлипания лепестка от

поверхности сегнетоэлектрика) зависит минимальный интервал времени между

соседними импульсами напряжения, т.е. максимальная частота следования

∑

этих импульсов и соответственно мощность, развиваемая микродвигателем.

При подаче на образец второго импульса напряжения движущаяся пластина с

лепестками делает еще один шаг и переходит в состояние Е. После окончания

импульса происходит пролет ротора по инерции в состояние D (и изменение

конфигурации лепестков, аналогичное позиции С). При поступлении третьего