ВУЗ:
Составители:
- 60 -
тра в монохроматоре осуществляется вращением дифрак-
ционной решетки вокруг вершины с одновременным пере-
мещением ее вдоль направления выходящего пучка. Такое
сложное движение необходимо осуществлять из-за того,
что при повороте дифракционной решетки (сканирование
спектра) меридиональный фокус изменяет свое значение.
Выходная щель может быть изменена в пределах 0–2 мм;
высота выходной щели изменяется от 0 до 12 мм. За вы-
ходной щелью установлен блок фильтров для отсечения
высших порядков (кварц, MgF
2
, пленка Аl). В качестве по-
крытий оптических элементов использованы Аu, Мо. Мо-
нохроматор с нормальным падением излучения на решетку
перекрывает область спектра 6–40 эВ. Для перекрытия об-
ласти 40–100 эВ используется схема скользящего падения.
Предварительно отклоняющее зеркало заменяется пло-
ской дифракционной решеткой с N=1200 штрих/мм. Угол
падения СИ на плоскую дифракционную решетку в нуле-
вом порядке дифракции выбран 80°. Дифрагированное мо-
нохроматическое излучение попадает на вдвижное асфе-
рическое фокусирующее зеркало, с помощью которого фо-
кусируется на выходную щель. С выходной щели тем же
торическим фокусирующим зеркалом монохроматическое
излучение фокусируется на образец. Плоская дифракцион-
ная решетка в схеме нормального падения может служить
в качестве предварительного монохроматора.
Требование получения сверхвысокого вакуума в объеме монохро-
матора привело к необходимости развязки оптических элементов мо-
нохроматора с вакуумным объемом. Все основные оптические элемен-
ты установлены на массивном оптическом столе на отдельных опорах
и имеют возможность проведения грубой и точной юстировки. Ваку-
умный объем имеет свои опоры и снабжен системой прогрева. Внутри
вакуумного объема, поскольку он является светопроводящим, уста-
новлены блоки диафрагм для подавления рассеянного света. Для ак-
тивного обезгаживания диафрагм путем прогрева они соединены с
вакуумным объемом. Оптические элементы связаны с вакуумным объ-
емом через сильфонные соединения. Наиболее сложным конструктив-
тра в монохроматоре осуществляется вращением дифрак-
ционной решетки вокруг вершины с одновременным пере-
мещением ее вдоль направления выходящего пучка. Такое
сложное движение необходимо осуществлять из-за того,
что при повороте дифракционной решетки (сканирование
спектра) меридиональный фокус изменяет свое значение.
Выходная щель может быть изменена в пределах 0–2 мм;
высота выходной щели изменяется от 0 до 12 мм. За вы-
ходной щелью установлен блок фильтров для отсечения
высших порядков (кварц, MgF2, пленка Аl). В качестве по-
крытий оптических элементов использованы Аu, Мо. Мо-
нохроматор с нормальным падением излучения на решетку
перекрывает область спектра 6–40 эВ. Для перекрытия об-
ласти 40–100 эВ используется схема скользящего падения.
Предварительно отклоняющее зеркало заменяется пло-
ской дифракционной решеткой с N=1200 штрих/мм. Угол
падения СИ на плоскую дифракционную решетку в нуле-
вом порядке дифракции выбран 80°. Дифрагированное мо-
нохроматическое излучение попадает на вдвижное асфе-
рическое фокусирующее зеркало, с помощью которого фо-
кусируется на выходную щель. С выходной щели тем же
торическим фокусирующим зеркалом монохроматическое
излучение фокусируется на образец. Плоская дифракцион-
ная решетка в схеме нормального падения может служить
в качестве предварительного монохроматора.
Требование получения сверхвысокого вакуума в объеме монохро-
матора привело к необходимости развязки оптических элементов мо-
нохроматора с вакуумным объемом. Все основные оптические элемен-
ты установлены на массивном оптическом столе на отдельных опорах
и имеют возможность проведения грубой и точной юстировки. Ваку-
умный объем имеет свои опоры и снабжен системой прогрева. Внутри
вакуумного объема, поскольку он является светопроводящим, уста-
новлены блоки диафрагм для подавления рассеянного света. Для ак-
тивного обезгаживания диафрагм путем прогрева они соединены с
вакуумным объемом. Оптические элементы связаны с вакуумным объ-
емом через сильфонные соединения. Наиболее сложным конструктив-
- 60 -
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 59
- 60
- 61
- 62
- 63
- …
- следующая ›
- последняя »
