ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
63
переменного электрического поля выбирается равной резонансной частоте зондового
датчика.
Если при каком-то значении постоянного напряжения амплитуда колебаний
становится равной нулю, значит это напряжение U
0
равно поверхностному потенциалу в
этой точке. Для исключения влияния рельефа поверхности на результаты исследования
используется двухпроходная методика.
Рис.50. Первый проход зонда при сканировании для получения рельефа поверхности.
В процессе сканирования производится следующая процедура. На первом проходе
сканируемой строки определяется рельеф по полуконтактному методу (рис. 50). Во время
второго прохода расстояние между сканируемой поверхностью и зондовым датчиком
поддерживается постоянным (рис.51). Это расстояние должно быть достаточно большим,
чтобы исключить влияние рельефа. В таком случае зонд подвергается воздействию
только дальнодействующих сил, основной вклад в которые осуществляется
электрическими свойствами образца. Но расстояние dZ не должно быть чрезмерно
большим, так как в этом случае уменьшается измеряемый сигнал и ухудшается
латеральное разрешение.
Рис.51. Второй проход зонда – сканирование осуществляется на фиксированном
расстоянии от поверхности. Ф – потенциал поверхности.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 61
- 62
- 63
- 64
- 65
- …
- следующая ›
- последняя »
