101 вопрос о нанотехнологиях. Нагорнов Ю.С. - 75 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

методами планарной технологии, такими же, как производство интегральных схем. На

рис. 59. Показана схема действия микронасоса с мембранными силовыми элементами.

Такой насос изготавливается из четырех кристаллов кремния. В каждом кристалле

методами планарной технологии выполняются необходимые элементы, а затем

кристаллы склеиваются. Верхняя пластина содержит противоэлектрод мембраны. Это

металлизированная поверхность кремния. Вторая пластина содержит рабочую мембрану

из кремния. Верхняя поверхность мембраны покрыта слоем металла. Вместе они

составляют блок электропривода, однако, они электрически изолированы друг от друга.

Если между ними приложить электрическое напряжение, то противоэлектрод и мембрана

притягиваются друг к другу. Мембрана прогибается вверх и под ней создаётся

пониженное давление. Первые две пластины снизу создают вместе клапанный блок.

Когда под мембраной пониженное давление, то мембрана входа прогибается вверх и

жидкость втягивается в полость под мембраной. Если напряжение, приложенное к блоку

электропривода отключить, то под действием упругих сил мембрана возвращается в

первоначальное положение. При этом под ней создается избыточное давление. Мембрана

выхода прогибается вниз и жидкость выталкивается в канал выхода. Повторяя этот цикл

необходимое количество раз, можно перекачать из канала входа в канал выхода

необходимую порцию жидкости.

Рис. 59. Изображение МЭМС, полученное в электронном сканирующем микроскопе

(сверху). Конструкция диафрагменного микронасоса с электростатическим принципом

управления и пассивным лепестковым клапаном (снизу).