Изучение биологических объектов методами атомно-силовой микроскопии. Нагорнов Ю.С. - 15 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис. 8. Общий вид зондового АСМ датчика с одиночной консолью прямоугольного сечения

(А) и с одиночной консолью треугольного сечения (Б) [1].

На рис. 9. показаны электронно-микроскопические изображения выпускаемых серийно

зондовых датчиков NSG11 с консолью прямоугольного сечения компании НТ-МДТ [2].

Иногда зондовые датчики АСМ имеют несколько кантилеверов различной длины (а значит, и

различной жесткости) на одном основании. В этом случае выбор рабочей консоли

осуществляется соответствующей юстировкой оптической системы атомно-силового

микроскопа.

Зондовые датчики с треугольным кантилевером имеют при тех же размерах большую

жесткость и, следовательно, более высокие резонансные частоты. Чаще всего они

применяются в колебательных АСМ методиках.

Общий вид и габариты зондовых датчиков с треугольной консолью представлены на рис.

10. Изготовление зондовых датчиков для АСМ представляет собой достаточно сложный

технологический процесс, включающий в себя операции фотолитографии, ионной

имплантации, химического и плазменного травления [2].