ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
10
В стационарных условиях при поступлении частиц извне поток
поступающих частиц сорта i равен испаряющемуся ( =
±
+
0
,
±
– испаряющиеся потоки положительных и отрицательных ионов,
0
– испаряющийся поток нейтральных частиц)
i
так что при Т = const и
= const на поверхности устанавливается равновесное покрытие Θ(T, )
первичными частицами; потоки
+
и
-
, и, соответственно, ионные токи
постоянны во времени:
±
= ΘCехр(–Е
D
/kT),
0
=ΘDexp(E
D0
/kT), (9)
где Е
D
, E
D0
– энергии, необходимые для десорбции частиц, а С и D
– слабо зависящие от Т множители. Для вычисления плотностей j
стационарных ионных токов вводят коэффициент ПИ:
±
= / ,
показывающий, какая часть поступающего потока частиц ионизируется,
= /(1 + ).
В случае первичных частиц сложного состава (молекулы,
ассоциаты) поток к поверхности может превращаться в несколько
видов (i) вторичных частиц в результате диссоциации, химических реак-
ции и т. д. Его можно представлять состоящим из i потоков
i
и считать
ионизацию частиц каждого вида независимой. При этом
i
и связаны
соотношением
i
(Т,Е) =
i
(T,E)v, где
i
– коэффициент выхода реакции
на поверхности по i-му каналу. В общем случае j
±i
= ev(1–R)
i i
, где R –
коэффициент отражения первичных частиц от поверхности. Подставляя
i
, получим:
1
1
1 exp /
i
i
i i i
eR
J
A V eE kT
(10а)
1
1
1 exp /
i
i
ri
eR
J
A e S eE kT
(10б)
Для ПИ атомарных потоков R = 0, = 1.
Для трудноионизируемых элементов ( <<1) выражения (10)
упрощаются:
1 exp /
i i i i
j e R A e V eE kT
(11а)
1 exp /
i i i i
j e R A e S eE kT
(11б)
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 8
- 9
- 10
- 11
- 12
- …
- следующая ›
- последняя »
