Методы и средства измерений, испытаний и контроля. Никитин В.А - 204 стр.

         1—тензорезистор; 2— защитное покрытие; 3—металлизированные
   токоведущие дорожки; 4—упругий элемент преобразователя (сапфировая
                               мембрана).

      Рисунок 14.123 - Схемы тензорезисторных ∆R/R               и   даже
термокомпенсационные элементы чувствительных элементов.

       Тензорезисторы можно располагать на мембране так, что при
дедеформации они будут иметь разные по знаку приращения сопротивления.
Это позволяет создавать мостовые схемы, в каждое из плеч которого
включаются тензорезисторы с соответствующим значением.
       На рисунке 14.124 а показана схема тензорезисторного измерительного
преобразователя разности давления. Мембранный тензомодуль 4 представляет
собой металлическую мембрану, к которой сверху припаяна сапфировая
мембрана с напыленными четырьмя кремниевыми тензорезисторами,
образующими плечи неравновесного моста. Тензомодуль закреплен на
основании 2 и отделен от измеряемой среды двумя разделительными
металлическими мембранами 1 и 3. Замкнутые полости между тензомодулем и
мембранами заполнены полиметилсилоксановой жидкостью. Измеряемая
разность давлений Р1 — P2 воздействует на тензомодуль через указанные
мембраны и жидкость. Через герметичные выводы 5 тензомодуль подключается
к встроенному электронному устройству 6. С помощью этого устройства
изменение сопротивления тензорезисторов преобразуется в унифицированный
токовый выходной сигнал (0—5, 0—20 или 4—20 мА), который передается по
искробезопасной двухпроводной линии дистанционной передачи к блоку
питания 7. Последний устанавливается во взрывобезопасном помещении и
обеспечивает питание первичного преобразователя по двухпроводной линии.
По этой же линии одновременно передается выходной токовый сигнал.