Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. Неволин В.К.

Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В пособии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначено для студентов старших курсов и аспирантов, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии 21 века. Электронная версия пособия опубликована на сайте Центра "Нанотехнологии в электронике" (&lt-a href="http://www.nanotube.ru" target="_blank"&gt-www.nanotube.ru&lt-/a&gt-).