Проектирование полосковых устройств СВЧ. - 53 стр.

UptoLike

Рубрика:

3.2. ПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ СОСРЕДОТОЧЕННЫЕ

Тонкопленочные конденсаторы могут быть сконструированы в

планарном виде (рис. 3.3,а). Конденсаторы планарной конструкции

выполняются для емкости не более 3 пФ.

Тонкопленочные конденсаторы выполняют в виде перекрывающих друг

друга участков проводящих и диэлектрических пленок рис. 3.3,б–г.

Необходимо, чтобы диэлектрическая пленка выходила за пределы нижней

обкладки. Такая конструкция исключает опасность замыкания обкладок по

периметру и уменьшает погрешность реализации емкости при

смещении обкладок

рис. 3.3,б–г. Конструкцию, изображенную на рис. 3.3,г применяют для

конденсаторов с площадью перекрытия обкладок не менее 1 мм

Рис. 3.3. Варианты выполнения конденсаторов: (а) – планарный; (б), (в) – с

напылением диэлектрика; (г) – поперечное сечение конденсатора с напылением

диэлектрика (1, 3 – металл, 2 – диэлектрик, 4 – подложка)

Расчет пленочных конденсаторов.

Задают: номинальное значение емкости

реализуемого конденсатора.

Выбирают: значение удельной емкости

, которая определяется

параметрами диэлектрика (его толщиной, диэлектрической

проницаемостью).

Определяют: площадь

, перекрытия обкладок конденсатора.

Расчетную площадь

обкладок конденсатора определяют по формуле

. (3.2)