Проектирование и технология микросхем. Романова М.П. - 35 стр.

UptoLike

Составители: 

34
резистора одинаковой конфигурации (обычно n > 2, если имеется соединение
двух или бо л ее тел резисторов), К - поправочный коэффициент, уч иты вающий
сопротивление растекания у ко нтактной пластины, ко т о р ый находится ан а ло г ич но
ранее описанному из ри с. 1.12, 1.13, 1.14, гд е i - но мер ко н т а к т но го окна. Дл я пр о -
ектирования топологического чертежа опр ед ел яют топологическую дл и ну резисто-
ра (1.30)
L
топ
= l
рас
+2 (
трав
+∆у), ( 1.30 )
при этом погрешность изготовления резистора увеличивается, та к как реаль-
но полученный резистор будет иметь мен ь шу ю длину, чем спроектирован-
ный. Окончательно за l
ТОП
пр ин и ма ются бл ижай шие к выч исл енным целые зна-
чения, кр атн ы е шагу координатной сетки, что упрощает проектирование топо-
логии резисторов. Реальная длина резистора определяется из соотношения
1 реал = 1 ра с-2(
тр а в
+ ∆у )
После определения топологических размеров резисторов проводят пове-
ро чный р а сч ет , по льзу ясь кр и т ер ие м
γ
R
> γ
R реал
, т.е. если заданная по гр ешно с т ь но -
минала резистора больше реальной, то расчет выполнен правильно, если нера-
венство не выполняется, то расчет топологических размеров следует провести за-
ново. Дл я опред еления
γ
R реал
резистора без из ги бо в надо найти (1.31)
а для резистора в виде меандра с n =2