ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
2
УДК 681.5 (076)
ББК 32.97я7
Р 69
Рецензент:
директор Ульяновского филиала института радиотехники и
электроники РАН доктор технических наук В. А. Сергеев.
Одобрено секцией методических пособий
научно-методического совета университета
Романова, М. П.
Методические указания к лабораторной работе «Техника получения и
измерения вакуума» /
М. П. Романова. – Ульяновск : УлГТУ, 2011. – 27 с.
Указания разработаны в соответствии с учебной программой курса «Конструи-
рование и технология микросхем» для студентов направления «Конструирование и тех-
нология электронных средств».
Работа подготовлена на кафедре «Проектирование и технология электронных
средств».
УДК 681.5 (076)
ББК 32.97я7
© Романова М. П., 2011
© Оформление. УлГТУ, 2011
Р 69
