ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
21
1.7. Натекатель
Натекатель предназначен для получения динамического вакуума и регули-
ровки разрядного тока при реактивном катодном распылении. При открытом
натекателе рукоятка поворачивается против часовой стрелки, газ из газораспре-
делителя малыми дозами подается под колокол.
1.8. Вакуумный пост
Вакуумный пост состоит из круглой металлической плиты и стеклянного
колокола (колпака).
К распылителю придаются
два колокола: один − для выполнения работ по
термическому испарению, по распылению угольных электродов, а также для
прокаливания керамических деталей, другой − для получения угольных пленок
в разряде бензола (рис. 1.2, а, б).
При проведении работ на колокол следует одевать защитный сеточный
колпак, который предохраняет оператора в случае разрушения колокола под
действием
атмосферного давления. На плите вакуумного поста устанавливается
приспособление в зависимости от проводимых работ.
При термическом испарении устанавливают 5 пар клемм и съемный при-
вод объектодержателей. Количество клемм позволяет производить много-
слойное
напыление (до 5 слоев) различных веществ.
Для удобства работ предусмотрен привод объектодержателей. При терми-
ческом испарении он обеспечивает вертикальное и горизонтальное или враща-
тельное перемещение, а при катодном распылении − вертикальное перемеще-
ние объектов без нарушения вакуума. Перемещение во всех случаях произво-
дится одной рукояткой.
Переход от линейного перемещения к вращательному производится с на-
рушением вакуума. За
один оборот рукоятки перемещение объектодержателя
составляет: по вертикали − 2,5 мм, по горизонтали − 180°. Вращение держателя
на 360° происходит при перемещении шестерни сектора из одного крайнего по-
ложения в другое, что соответствует повороту рукоятки на угол 210°.
Стойка для объектодержателей позволяет крепить различные держатели
объектов. Клеммы предназначены для крепления нагревателей различной фор-
мы:
спиралей, пластин, лодочек и т. п. Они сделаны объемными.
На плите поста имеется две пары проходящих клемм, которые могут быть
использованы для измерения параметров объектов под вакуумом, а также для
создания других, не предусмотренных в данном распылителе, режимов нагре-
вателей и объектов.
Снизу поста размещены клапан для пропуска воздуха, шины для
токоотво-
дов, патрубок, к которому крепится откачная система и патрубок с манометри-
ческими лампами: низковакуумной ЛТ-4М и высоковакуумной ЛМ-2. С помо-
щью этих ламп и вакуумметра производится измерение вакуума в системе.
При измерении высокого вакуума не следует долгое время лампу ЛМ-2
держать включенной, так как она имеет небольшой срок
службы.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 19
- 20
- 21
- 22
- 23
- …
- следующая ›
- последняя »
