ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
26
Приложение 3
КЛАССИФИКАЦИЯ ВАКУУММЕТРИЧЕСКОЙ АППАРАТУРЫ
Вакуумметрическая аппаратура предназначена для измерения давления
разреженных газов в вакуумном оборудовании и ЭВП. По принципу действия
ее можно подразделить на несколько типов:
1. Жидкостные вакуумметры, измеряющие давление непосредственно и
представляющие собой различные модификации стеклянных U - образных
вакуумметров.
2. Компрессионные вакуумметры, чаще всего применяемые для градуи-
ровки других типов вакуумметров. Действие этих вакуумметров основано
на изотермическом (при постоянной температуре) сжатии разреженного газа
в рабочем капилляре. Достоинством компрессионных вакуумметров является
высокая точность измерения давлений в диапазоне 10
-2
÷ 10 мм рт.
ст. (ошибка измерения не превышает 2-3%).
3. Деформационные вакуумметры, измеряющие либо абсолютное давление
(барометрическое давление в помещении на них не влияет), либо сравниваю-
щее давление в обследуемом объеме с атмосферным. При пользовании прибо-
рами второй группы необходимо знать и учитывать барометрическое дав-
ление в помещении в момент измерения. В качестве чувствительного элемента,
величина деформации которого служит мерой давления, используется сильфон,
мембрана или пружина.
4. Теплоэлектрические вакуумметры применяются как термопарные
вакуумметры, в которых давление оценивается по величине термо-э.д.с. тер-
мопары, так и вакуумметры сопротивления, в которых давление оценива-
ется по величине омического сопротивления нити.
Принцип действия теплоэлектрических вакуумметров основан на зависи-
мости теплопроводности газа от давления.
5. Ионизационные вакуумметры, работа которых основана на иони-
зации газа. К ионизационным вакуумметрам относятся также и радиоизотоп-
ные, принцип работы которых основан на способности альфа-частиц иони-
зировать газ.
6. Магнитные электроразрядные, принцип действия которых основан на
зависимости величины разрядного тока от давления газа.
Вакуумметры жидкостные, компрессионные и деформационные относятся
к вакуумметрам прямого действия, отсчет давления в которых не зависит от со-
става и температуры измеряемого газа.
Остальные типы вакуумметров являются вакуумметрами косвенного дей-
ствия и измеряют не само давление, а параметры, пропорциональные ему.
Диапазон давлений, измеряемый вакуумметрами, находится в пределах от
2·10
-1
до 1·10
-7
мм рт. ст.
Давление в пределах от 2·10
-1
до 1·10
-3
мм рт. ст. измеряется термопарной
манометрической лампой, от 1·10
-3
до 1·10
-7
мм рт. ст.− ионизационной мано-
метрической лампой.
