Когерентно-оптические методы в измерительной технике и биофотонике. Рябухо В.П - 13 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Интерференционный микроскоп для измерения микроструктуры поверхности

Рис. 2. Оптическая схема микроинтерферометра Линника: S – протяженный источник све-

та, L1, L2, L3 – линзы, A, F – диафрагмы, MO1, MO2 – микрообъективы, BS – светодели-

тель, Obj – объект, M – зеркало, O – окуляр, E - глаз наблюдателя.

В обратном ходе лучей микрообъективы MO1 и MO2 строят изображе-

ния, соответственно, объекта Obj и зеркала M в бесконечности. Предметное и

опорное оптические поля интерферируют, образуя в бесконечности изображе-

ние с интерференционными полосами. При помощи тубусной линзы L3 это

изображение переносится в фокальную плоскость окуляра O. При этом изобра-

жения поверхности объекта, поверхности опорного зеркала и

плоскость лока-

лизации интерференционных полос совмещены в одной плоскости.