Когерентно-оптические методы в измерительной технике и биофотонике. Рябухо В.П - 21 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

СГУ им. Чернышевского | Саратов

Составители: 

Рубрика: 

Интерференционный микроскоп для измерения микроструктуры поверхности
20
сколько изменилась разность хода между интерферирующими полями и поэто-
му нельзя определить высоту неровности.
Наличие ахроматической (неокрашенной) центральной интерференцион-
ной полосы на рис. 7б позволяет однозначно определить, на сколько полос сме-
стилась интерференционная картина, несмотря на разрыв ахроматической по-
лосы на границе неровности. В этом заключается преимущество работы с ис-
точником
белого света. Наблюдение картины интерференции в белом свете по-
зволяет определять рельеф поверхности в случае, если он превышает значение
2
0
λ
. Использование же монохроматического источника оправдано в случаях,
когда размеры неровностей меньше указанной величины. Оценка смещения ин-
терференционной картины не по одной ахроматической полосе, а по несколь-
ким полосам, смещенным на одну и ту же величину, позволяет значительно
увеличить точность измерений.
Допустим, требуется определить высоту точки A выступа. Для этого не-
обходимо
определить, на сколько полос сместилась интерференционная карти-
на в этой точке. Точка A расположена на центральной ахроматической полосе,
которую обозначим N
01
(рис. 7б), поэтому отсчитывать смещение следует от
ахроматической полосы невозмущенной интерференционной картины, которую
обозначим N
00
. Теперь можно определить, на сколько полос сместилась ахро-
матическая полоса из положения, обозначенного маркером N
00
, в положение,
обозначенное маркером N
01
. Полосы считаются от одного локального миниму-
ма (максимума) интенсивности невозмущенной интерференционной картины
до следующего минимума (максимума), что будет соответствовать изменению
оптической разности хода интерферирующих волн на
0
λ
, или изменению высо-
ты рельефа поверхности на
2
0
λ
. Определение смещения полос по интерфе-
ренционной картине в белом свете в данном случае не будет достаточно точ-
ным, из-за окрашивания интерференционных полос высоких порядков, в ре-
зультате чего нельзя с большой точностью определить положение локального
минимума, или максимума интенсивности. Однако, зная положение смещенной
ахроматической полосы, которое определили из интерференционной
картины в
белом свете, можно воспользоваться интерференционной картиной в монохро-
матическом свете, которая позволяет визуально определять смещение полос до
десятых долей ширины полосы.
Техническое устройство, внешний вид и органы управления
интерференционного микроскопа Линника МИИ-4
В работе используется серийно выпускаемый интерференционный мик-
роскопа Линника МИИ-4, общий вид которого изображен на
рисунке 8. К верх-
нему торцу основания 1 прикреплена полая цилиндрическая колонка 2, на ко-
торой установлен предметный столик 3. При помощи двух микрометрических
винтов 4 столик можно перемещать в двух взаимно перпендикулярных направ-

Страницы