Когерентно-оптические методы в измерительной технике и биофотонике. Рябухо В.П - 25 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

СГУ им. Чернышевского | Саратов

Составители: 

Рубрика: 

Интерференционный микроскоп для измерения микроструктуры поверхности
24
Задание 5. Определение высоты микрорельефа поверхности образца
В режиме интерферометра найти на поверхности образца участок, содер-
жащий неровности, вызывающие различимое глазом искривление интерферен-
ционных полос, выделить одну из них и вывести при помощи микрометриче-
ских винтов 4 в середину поля зрения.
Определить, с помощью окуляр-микрометра и окулярной камеры, вели-
чину смещения интерференционных
полос на неровности и, зная центральную
длину волны источника излучения
0
λ
, рассчитать высоту микрорельефа.
Измерения провести как в белом свете, так и в монохроматическом, вос-
пользовавшись цветными фильтрами.
Задание 6. Определение высоты макрорельефа поверхности образца
Измерять рельеф поверхности при помощи микроинтерферометра можно
не только по изгибу интерференционных полос, но и по их смещению при пе-
рестройке микроскопа с одного участка поверхности
на другой. Для этого на
микроскопическом изображении необходимо выделить некоторый участок на
поверхности исследуемого объекта и вывести, используя микрометрические
винты 4 предметного столика, этот участок на перекрестие шкалы окуляр-
микрометра.
Затем, пользуясь микрометрическим винтом 7 вывести центральную ах-
роматическую полосу точно в центр поля зрения также до полного совпадения
с перекрестием шкалы окуляр
-микрометра. При этом удобно, чтобы полосы
были ориентированы горизонтально, или вертикально. Снять показания микро-
метрических винтов 4 и 7.
Используя микрометрические винты предметного столика 4 сместить
изображение объекта так, чтобы в перекрестии шкалы окуляр-микрометра ока-
зался другой участок поверхности объекта, после чего винтом 7 снова устано-
вить ахроматическую полосу на перекрестие шкалы окуляр-
микрометра. Снять
новые показания микрометрических винтов 4 и 7.
Разность первого и второго показаний винта 7 указывают геометриче-
скую разность высот поверхности образца в выбранных точках, а разность по-
казаний винта 4 – поперечное расстояние между этими точками.
Описанную процедуру повторить для 15-20 точек поверхности образца,
лежащих на одной прямой, и по полученным данным построить профиль по
-
верхности объекта вдоль этой прямой.
Задание 7. Определение оптической толщины прозрачного слоя
Слоистый прозрачный образец (например, покровное стекло, слой скотча
на стекле) положить на предметный столик микроскопа. Сфокусироваться на
верхнюю поверхность образца, отметить положение интерференционных по-
лос, снять показание винта 7. Затем при помощи винта 7 сместить интерферен-
ционную головку микроскопа до
тех пор, пока не появится изображение ниж-

Страницы