ВУЗ:
Составители:
92
NC - контактный (черный);
NI - имплантации (желтый).
Оператор слоя помещает все следующие за ним прямоугольники в этом
слое, пока не встретится следующий оператор Layer.
Следует отметить, что в реальных описаниях в CIF необходимо исполь-
зовать только целочисленные параметры и единственным допустимым шагом
координатной сетки является 0,01 мкм. Это не всегда удобно, поэтому в языке
предусмотрены дополнительные возможности.
Одной из них является механизм, похожий на вызов подпрограммы, по-
зволяющий определить элемент как некоторый набор форм, объединенных
общим идентификатором, и затем при необходимости вызывать его. Каждый
вызов элемента помещает его копию в точке координатной сетки, из которой
осуществлялся вызов. Пр и копировании элемента можно повернуть его ось х
на некоторый угол и осуществить зеркальное отображение элемента относи-
тельно осей х и (или) у. Координаты при этом соответственно изменяют на-
правление.
Определение элемента осуществляется оператором DS (Definition Start),
имеющим следующую форму записи:
DS <номер элемента> <масштаб>;
где <номер элемента> - целое число, воспринимаемое как имя элемента;
<масштаб> - пара целых чисел a и b таких, что все размеры и координаты
прямоугольников умножаются на отношение a/b.
Оператор DS отмечает начало определения элемента. Соответственно для
обозначения окончания определения служит оператор DF (Definition Finish).
С учетом сказанного, если необходимо записать все координаты и разме-
ры элемента в единицах минимального литографического допуска λ, необхо-
димо при определении элемента оператором DS использовать масштаб а:1, где
а равно λ в сотых долях микрона.
Вызов элемента (символа) осуществляется оператором Call, который
имеет следующую форму записи:
С <номер элемента> <список преобразований>;
где каждый элемент <списка преобразований> имеет одну из форм:
1) Translate - T <исходное х> <исходное у> - помещает начало координат
вызываемого элемента в точку с координатами <исходное х>, <исходное
у>;
2) Rotate - R <x
н
> <y
н
> - поворачивает ось х вызываемого элемента на неко-
торый угол, определяемый числами <x
н
> <y
н
>, как показано выше (см. рис.
65);
3) Mirror - MX и/или MY - выполняет зеркальное отражение вызываемого
элемента относительно осей х и/или у.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 88
- 89
- 90
- 91
- 92
- …
- следующая ›
- последняя »