Электрические характеристики тонкопленочных электролюминесцентных индикаторов. Самохвалов М.К - 12 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

последовательно нанесенных на стеклянную подложку сло-

ев с использованием методов тонкопленочной технологии

[1–10]. Такая структура представлена на рис. 1.1.

Рис. 1.1. Тонкопленочный электролюминесцентный

источник излучения: М

–металлический электрод;

Д–диэлектрик; Л–люминофор; СП–стеклянная подложка

Кроме перечисленных пленок в состав электролюми-

несцентного конденсатора могут входить дополнительные

слои, например, слой светопоглощающего контрастного ма-

териала [5–10].

Кроме того, каждый из функциональных слоев может

быть неоднородным, например, состоять из нескольких

пленок [6, 7, 10]. Прозрачным может быть и второй элек-

трод, тогда контрастный слой помещается за пределами

тонкопленочной структуры и может совмещаться по

своим

функциям с защитным покрытием. В качестве подложки и

одновременно первого диэлектрика может быть использо-

вана керамическая пластина, тогда верхний электрод также

должен быть прозрачным [11, 12].