ВУЗ:
Составители:
5
2.2. Примерная тематика и направления исследований,
отражающих научное направление кафедры и специфику
программы подготовки
2.2.1. Программа магистерской подготовки 550711
“Процессы микро- и нанотехнологии” разработана в рамках
направления 550700 “Электроника и микроэлектроника”.
Данная программа включает в себя следующие вопросы.
Механическая обработка пластин. Диффузионная технология
формирования p-n-переходов. Термическое окисление.
Маскирующие свойства оксида и нитрида кремния. Легирование
ионным внедрением. Фотолитография. Электронная литография,
рентгенолитография. Применение сканирующего туннельного
микроскопа для литографии. Получение эпитаксиальных пленок
из расплава, методами молекулярно-лучевой эпитаксии и
осаждением из паровой фазы металлоорганических соединений.
Получение слоев методами пиролиза и плазмохимии.
Химическая обработка полупроводниковых материалов.
Электрохимические методы осаждения слоев металлов. Анодные
окисные пленки. Создание контактов с высокой
электропроводностью. Технология тонкопленочных резисторов.
Методы изоляции элементов интегральных схем. Конденсаторы
интегральных схем. Методы импульсной термообработки.
Примерный перечень тематики исследований
магистерских диссертаций в рамках данной программы, с учетом
направления научной работы кафедры следующий:
- исследование процессов, активируемых электрическими,
магнитными, оптическими и другими воздействиями;
- исследование процессов нанесения и удаления вещества;
- модификация поверхности;
- моделирование процессов микро- и нанотехнологии;
- разработка нового оборудования для микроэлектронной
и наноэлектронной технологий.
2.2.2. Программа магистерской подготовки 550715
“Технология и проектирование интегральных схем” разработана
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 3
- 4
- 5
- 6
- 7
- …
- следующая ›
- последняя »
