Технология и автоматизация производства электронной аппаратуры. Скубилин М.Д - 104 стр.

UptoLike

104
ЛЕКЦИЯ 12
ДАТЧИКИ ВАКУУМА И СИЛОВЫЕ
Вакуумметры.
Универсального метода или средства измерения вакуума не существует.
При измерении давления основываются на различных физических
закономерностях, прямо или косвенно связанных с давлением или
плотностью газа.
Единица давления в системе СИньютон на квадратный метр (Н/м
2
).
Диапазоны измерения вакуума различными вакуумметрами представлены
на рисунке 12.1.
Рис. 12.1. Диапазоны рабочих давлений вакуумметров.
В электронных ионизационных вакуумметрах ионизация проводится
потоком электронов.
Для измерения давления до 10
-5
Н/м
2
(10
-7
мм. рт. столба) применяют
ионизационный радиоизотопный вакуумметр (альфатрон) (см. рис. 12.2.).
Магнитный электроразрядный вакуумметр (см. рис. 12.3.) допускает
измерение вакуума до 10
-12
Н/м
2
(10
-14
мм. рт. столба). Он содержит
плоскопараллельный катод (К) из двух пластин и кольцевой анод (А),
плоскость которого параллельна катодным пластинам, расположенным в