ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
107
!
!
,
,
!
,
#"#
!
!
&
,
$
.
!
.
$
!&
,
!
&!
.
*#
#
!
,
.
.
$
,
!
!$
#$"
,
!
,
$"
!
.
*&
"
-
!.
"
$
#
.
$
,
&
,
!
!.
.
(
#
!
,
"#
0,1
,
$
"
&
,
!$
!
&
$
.
7#
!
&
-
&
,
!
!
,
"
$
.
(
,
!
.!
#
0,8
!
10
-2
/
2
.
.!"
SiO
2
Si
3
N
4
!
&
.
3.5.2. ;+*/$! "" -#$)74+)! "" * $!+*")*
3
,
&
"
$+
!
(>1
.
/
2
,10
-2
/
2
)
"
,
1970-
!
.
.
!&
!
!
(BEER-bombardment enhanced etching rate),
!
!&
!
!
.!
$
(
3
)
"
$"
.
!
BEER-
"
$+
!
.
*&
&$
$
&
.
.
+
(<2
).
!
$
&
+
!
.
/!
!
Ti
&
/
-
.
"
.
&
.
!
,
!
!
"
.
!
"
$
#
.
0
BEER-
!"#
.
$+
&
,
"#
#
.
*
&
.
!
+
1
/
2
.
*
&
25
&
$+
$
,
"
.
$
,
!
10
,
!
50-100
&
&
2-3
$+
.
! ! , ,
! , # "# !! &
,
$ . !
. $ ! & , !
& ! .* # # ! , . .
$ , ! ! $ # $",
! , $" ! . * &
" - ! . " $ #
. $, & , !
! . . ( # ! ,
"# 0,1 , $ "
& , ! $ ! &
$ .
7# ! & - & , !
! , " $ .
-2
( , ! .! # 0,8 ! 10
/ 2. .! " SiO2 Si3N4 ! &
.
3.5.2. ;+*/$! "" -#$)74+)! "" * $! +*")*
2
3 , & " $+ ! (>1 ./ ,10-2
2
/ ) " ,
1970- ! . .
! & !
! (BEER-bombardment enhanced etching rate),
! ! & ! !
. ! $ ( 3 )
" $". ! BEER-
" $+ ! . * & & $ $
& . . +
(<2 ). ! $ &
+ ! ./ ! ! Ti
& /- .
" . &
. ! , ! ! "
. ! " $ # .
0 BEER-
! "# . $+
&
, "# #
. * &
2
. ! + 1 / .* & 25 & $+
$, " . $, ! 10 , !
50-100 & & 2-3 $+ .
107
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 106
- 107
- 108
- 109
- 110
- …
- следующая ›
- последняя »
