Вакуумная и плазменная электроника. Светцов В.И. - 105 стр.

    В электровакуумной технике искровой разряд используется в импульсных
разрядниках - тригитронах.

                          5.3.5 Коронный разряд

     Корона возникает при сравнительно высоких давлениях в тех случаях, ко-
гда поле в разрядном промежутке неравномерно из-за малого радиуса кривиз-
ны одного из электродов. Ионизация и свечение газа происходят в сравнитель-
но узком слое около этого электрода. Этот слой называется коронирующим. Во
внешней области разряда ток переносится частицами только одного знака. Ток
коронного разряда ограничивается сопротивлением несветящейся области. При
увеличении напряжения между электродами размеры светящегося слоя короны
и его яркость увеличиваются. Когда светящаяся область достигает другого
электрода, разряд переходит в искровой. Поэтому коронный разряд называют
незавершенным пробоем разрядного промежутка. В настоящее время для опи-
сания короны используют в основном теорию лавин, хотя ряд явлений связан с
образованием стримеров.
     Начальная напряжённость поля короны зависит от радиуса электрода и
давления газа. Хорошо оправдывается эмпирическая формула Пика:
                          0,308 
     E k = 31 ⋅ δ ⋅  1 +          , кВ/см2                     (5.21)
                           δ ⋅ r0 
     r0 - радиус коронирующего электрода;
     d - плотность воздуха при нормальных условиях.
     На возникновении коронного разряда основаны газоразрядные счётчики
элементарных частиц.

                     5.3.6 Высокочастотные разряды

     В общем случае газовый разряд может возбуждаться с помощью постоян-
ных или переменных электрических полей. Очень широкое распространение в
современной технике и технологии получили высокочастотные (ВЧ) разряды,
возбуждаемые электромагнитными полями мегагерцового диапазона частот.
     Существует два способа создания высокочастотного разряда - индукцион-
ный и емкостной. При индукционном способе разрядную трубку помещают в
катушку (соленоид) с током высокой частоты. Индуцируемое внутри катушки
вихревое электрическое поле и поддерживает разряд. Это разряд Н-типа или
ВЧИ разряд. Он характеризуется достаточно высокой пространственной одно-
родностью и применяется при проведении ряда плазмохимических процессов,
в том числе в технологии микроэлектроники. При емкостном способе (ВЧЕ-
разряд) высокочастотное напряжение подают на электроды, образующие сво-
его рода конденсатор. Электроды могут находиться в непосредственном кон-
такте с плазмой или могут быть вынесены за ее пределы и отделяться от плаз-

                                    105