Вакуумная и плазменная электроника. Светцов В.И. - 82 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

82
Этот процесс носит название процесса Пеннинга и обуславливает медлен-
ную деионизацию плазмы после прекращения разряда, если в газе имеется лег-
коионизируемая примесь. Сечения пеннинговского процесса весьма велики и
достигают 10
-15
- 10
-14
см
2
. Большой вероятностью характеризуются также про-
цессы ионизации при столкновении двух метастабильных атомов одного сорта.
Например
He* + He* → He
+
+ He + e.
4.3.4 Образование и разрушение отрицательных ионов
Отрицательные ионы могут образовываться в реакциях следующих типов:
а) Радиационный захват свободного электрона нейтральным атомом
е + А → А
-
+ hν
б) Захват свободного электрона нейтральным атомом или молекулой с пе-
редачей избыточной энергии третьему телу
е + А + В → А
-
+ В
*
в) Захват свободного электрона молекулой с колебательным возбуждением
молекулярного иона и последующей диссипацией энергии
е + ХУ → (ХУ
-
)
*
→ ХУ
-
г) Диссоциативный захват электрона
е + ХУ → Х + У
-
д) Образование ионной пары
е + ХУ → Х
+
+ У
-
е) Столкновение тяжёлых возбужденных частиц
А
*
+ В
*
→ А
+
+ В
-
Рассмотренные выше пути в условиях разряда неравноценны и обычно
один из них является преобладающим. Так при достаточно больших давлениях
существенным является прилипание при тройном столкновении. Вероятность
процесса зависит от того, в какой мере система способна избавиться от избытка
энергии. Каждому из перечисленных выше механизмов захвата электронов со-
ответствует обратный процесс отрыва электрона. Сводка механизмов отрыва
может быть представлена в следующем виде:
а) столкновение отрицательного иона с возбужденным атомом;
б) фотоотрыв;
в) столкновение с электронами, быстрыми ионами или молекулами;
г) столкновение с ионами и молекулами малой энергии;
д) ассоциативный отрыв при столкновении с нейтральными атомами.
4.3.5 Диссоциация молекул
В условиях разряда могут иметь место процессы термической диссоциа-
ции, фотодиссоциации и диссоциации при электронном ударе. Первые два типа 
    Этот процесс носит название процесса Пеннинга и обуславливает медлен-
ную деионизацию плазмы после прекращения разряда, если в газе имеется лег-
коионизируемая примесь. Сечения пеннинговского процесса весьма велики и
достигают 10-15 - 10-14 см2. Большой вероятностью характеризуются также про-
цессы ионизации при столкновении двух метастабильных атомов одного сорта.
    Например
                            He* + He* → He+ + He + e.

          4.3.4 Образование и разрушение отрицательных ионов

    Отрицательные ионы могут образовываться в реакциях следующих типов:
    а) Радиационный захват свободного электрона нейтральным атомом
    е + А → А- + hν
    б) Захват свободного электрона нейтральным атомом или молекулой с пе-
редачей избыточной энергии третьему телу
    е + А + В → А- + В*
    в) Захват свободного электрона молекулой с колебательным возбуждением
молекулярного иона и последующей диссипацией энергии
    е + ХУ → (ХУ-)* → ХУ-
    г) Диссоциативный захват электрона
    е + ХУ → Х + У-
    д) Образование ионной пары
    е + ХУ → Х+ + У-
    е) Столкновение тяжёлых возбужденных частиц
    А* + В* → А+ + В-
    Рассмотренные выше пути в условиях разряда неравноценны и обычно
один из них является преобладающим. Так при достаточно больших давлениях
существенным является прилипание при тройном столкновении. Вероятность
процесса зависит от того, в какой мере система способна избавиться от избытка
энергии. Каждому из перечисленных выше механизмов захвата электронов со-
ответствует обратный процесс отрыва электрона. Сводка механизмов отрыва
может быть представлена в следующем виде:
    а) столкновение отрицательного иона с возбужденным атомом;
    б) фотоотрыв;
    в) столкновение с электронами, быстрыми ионами или молекулами;
    г) столкновение с ионами и молекулами малой энергии;
    д) ассоциативный отрыв при столкновении с нейтральными атомами.

                         4.3.5 Диссоциация молекул

     В условиях разряда могут иметь место процессы термической диссоциа-
ции, фотодиссоциации и диссоциации при электронном ударе. Первые два типа

                                     82

Страницы