Неразрушающие методы контроля параметров полупроводниковых материалов и структур. Смирнов В.И.

Рассмотрены методы измерения, используемые для контроля технологических операций при производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Основное внимание уделено методам измерения химического состава и кристаллографической структуры полупроводников, а также различным методам исследования морфологии поверхности с использованием средств оптической, рентгеновской и электронной микроскопии. Пособие предназначено для магистров, обучающихся по направлению 21100068 "Конструирование и технология электронных средств" и профилю подготовки "Элементы и устройства электронно-вычислительных средств", изучающих вопросы технологии электронных средств.