ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
31
мерам подчиняется нормальному закону распределения, значение величи-
ны N определяется по уравнению:
1)()(
21
−
+
= xФxФN . (4.6)
Значения функций
)(
1
xФ и )(
2
xФ определяются из таблицы нормаль-
ной функции распределения (табл. 4.1).
Величины
1
x и
2
x , в свою очередь, определяются из выражений:
vlD
v
w
LhH
x
t
ос
−
−+
=
2
1
; (4.7)
vlD
v
w
LhH
x
t
ос
−
+−
=
2
2
; (4.8)
где
h
- расстояние от потолка камеры;
t
D - коэффициент турбулентной
диффузии частиц.
При выполнении условия
vgLw
ос
/
.
<
, что характерно для большинства
случаев осаждения в камерах, коэффициент турбулентной диффузии час-
тиц совпадает с коэффициентом турбулентной диффузии газового потока и
может быть рассчитан по формуле Шервуда - Вертца:
λ
HvD
t
.
02,0=
, (4.9)
где
λ
- коэффициент трения потока, может быть принят равным 0,03.
Тогда выражения (4.7) и (4.8) значительно упрощаются и принимают
вид:
HL
vwHLHh
x
ос
⋅⋅
−+
=
−3
1
107
)(1
, (4.10)
HL
vwHLHh
x
ос
⋅⋅
+−
=
−3
2
107
)(1
, (4.11)
LHvw
ос
.
50
5,1)( ≈ . (4.12)
Дополнительные значения
vw
ос
, необходимые для определения не-
скольких точек зависимости )(
п ч
df
=
ε
, принимаются больше и меньше
значения
50
)( vw
ос
. Полный коэффициент очистки и степень очистки опре-
деляются по уравнению:
∑
Δ=
ч
вх
d
N
100
п
εε
, (4.13)
где
вх
N - плотность распределения, %/мкм;
ч
d
Δ
- разность граничных раз-
меров выбираемого диапазона частиц из гистограммы, мкм.
мерам подчиняется нормальному закону распределения, значение величи- ны N определяется по уравнению: N = Ф( x1 ) + Ф( x 2 ) − 1 . (4.6) Значения функций Ф( x1 ) и Ф( x2 ) определяются из таблицы нормаль- ной функции распределения (табл. 4.1). Величины x1 и x2 , в свою очередь, определяются из выражений: wос H +h−L x1 = v ; (4.7) 2 Dt − l v w H − h + L ос x2 = v ; (4.8) 2 Dt − l v где h - расстояние от потолка камеры; Dt - коэффициент турбулентной диффузии частиц. При выполнении условия wос < L. g / v , что характерно для большинства случаев осаждения в камерах, коэффициент турбулентной диффузии час- тиц совпадает с коэффициентом турбулентной диффузии газового потока и может быть рассчитан по формуле Шервуда - Вертца: Dt = 0,02 v . H λ , (4.9) где λ - коэффициент трения потока, может быть принят равным 0,03. Тогда выражения (4.7) и (4.8) значительно упрощаются и принимают вид: 1 + h H − L H ( wос v) x1 = , (4.10) 7 ⋅ 10 −3 ⋅ L H 1 − h H + L H ( wос v) x2 = , (4.11) 7 ⋅ 10 −3 ⋅ L H ( wос v) 50 ≈ 1,5. H L . (4.12) Дополнительные значения wос v , необходимые для определения не- скольких точек зависимости ε п = f (dч ) , принимаются больше и меньше значения ( wос v) 50 . Полный коэффициент очистки и степень очистки опре- деляются по уравнению: N вх ε = ∑εп Δdч , (4.13) 100 где N вх - плотность распределения, %/мкм; Δd ч - разность граничных раз- меров выбираемого диапазона частиц из гистограммы, мкм. 31
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 29
- 30
- 31
- 32
- 33
- …
- следующая ›
- последняя »