Методы расчета диффузионных структур. Быкадорова Г.В

UptoLike

Методы расчета диффузионных структур. Быкадорова Г.В

РЕШЕНИЕ (файл) вывод, красное-белое: 

Читать

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Дисциплина: 

ВГУ | Воронеж - Физика

Составители: 

Формат файла: 

PDF

Ключевые слова: 

  • методические указания

Количество страниц: 

23
Источник файла
В данных методических указаниях рассмотрены методы расчета концентрационных профилен и электрофизических параметров полупроводниковых структур, полученных диффузией. Каждый раздел содержит физическую и математическую модели технологического процесса, задания и контрольные вопросы. Для ряда типовых задач приведены решения с соответствующим программным обеспечением, написанным на языке Паскаль и ориентированным на использование персональных компьютеров типа IBM. Методические указания предназначены для проведения аудиторных занятий и самостоятельной работы студентов физического факультета 4 и 5 курсов по специальности 014100 "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы" и студентов 6 курса, обучающихся в магистратуре по направлению "Физика" (специализация "Полупроводниковые приборы и микроэлектроника") при изучении спецкурсов "Математическое моделирование технологических процессов в микроэлектронике", "Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем", "Физические основы микроэлектроники и наноэлектроники".

Рекомендуемые учебно-методические материалы

Задачи физических олимпиад. Алмалиев А.Н
Просмотреть (PDF)
Алмалиев А.Н., Крыловецкий А.А., Мармо С.И., Овсянников В.Д.
Алмалиев А.Н., Крыловецкий А.А., Мармо С.И., Овсянников В.Д. Задачи физических олимпиад: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 55 с.
Задачи по физике. Левин М.Н
Просмотреть (PDF)
Левин М.Н., Гитлин В.Р., Иванков Ю.В., Иванова О.А.
Левин М.Н., Гитлин В.Р., Иванков Ю.В., Иванова О.А. Задачи по физике: Практикум по специальности "Математика". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 47 с.
Практикум по курсу общей физики по специальностям "География", "Природопользование", "Геоэкология". Миловидова С.Д
Просмотреть (PDF)
Миловидова С.Д., Саввинов А.М., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В.
Миловидова С.Д., Саввинов А.М., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В. Практикум по курсу общей физики по специальностям "География", "Природопользование", "Геоэкология". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 79 с.
Сборник описаний задач специального лабораторного практикума "Компьютерный эксперимент" темы 3, 4, 5. Будко В.Н.
Просмотреть (PDF)
Будко В.Н.
Будко В.Н. Сборник описаний задач специального лабораторного практикума "Компьютерный эксперимент" темы 3, 4, 5. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2000. - 18 с.
Равновесные электродные системы. Граница раздела заряженных фаз. Часть 3. Введенский А.В
Просмотреть (PDF)
Введенский А.В., Бобринская Е.В., Протасова И.В., Соцкая Н.В., Введенский А.В.
Введенский А.В., Бобринская Е.В., Протасова И.В., Соцкая Н.В., Введенский А.В. Равновесные электродные системы. Граница раздела заряженных фаз. Часть 3: Практикум по специальности "Химия". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2003. - 81 с.
Кулонометрия. Васильева В.И
Просмотреть (PDF)
Васильева В.И., Мокшина Н.Я., Бутырская Е.В.
Васильева В.И., Мокшина Н.Я., Бутырская Е.В. Кулонометрия: Практическое пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2003. - 15 с.
Курс общей физики. Введение. Миловидова С.Д
Просмотреть (PDF)
Миловидова С.Д., Либерман З.А., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В.
Миловидова С.Д., Либерман З.А., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В. Курс общей физики. Введение: Практическое пособие к лабораторным работам. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 31 с.
Практикум по спецкурсу "Физика сегнетоэлектриков". Часть 1. Сидоркин С.Д
Просмотреть (PDF)
Сидоркин С.Д., Миловидова З.А., Либерман О.В., Рогазинская А.С.
Сидоркин С.Д., Миловидова З.А., Либерман О.В., Рогазинская А.С. Практикум по спецкурсу "Физика сегнетоэлектриков". Часть 1: Пособие к лабораторным работам. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 67 с.
Курс общей физики. Миловидова С.Д
Просмотреть (PDF)
Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Либерман З.А., Рогазинская О.В.
Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Либерман З.А., Рогазинская О.В. Курс общей физики: Практическое пособие к лабораторным работам. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 79 с.
Практическое руководство к лабораторному практикуму по технике школьного эксперимента. Часть 1. Механика. Попова И.А
Просмотреть (PDF)
Попова И.А., Шилов В.Д.
Попова И.А., Шилов В.Д. Практическое руководство к лабораторному практикуму по технике школьного эксперимента. Часть 1. Механика. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 15 с.
Введение в практикум по курсу общей физики. Механика и молекулярная физика. Электричество и магнетизм. Либерман З.А
Просмотреть (PDF)
Либерман З.А., Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Дрождин С.Н., Рогазинская О.В., Солодуха А.М., Лазарев А.П.
Либерман З.А., Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Дрождин С.Н., Рогазинская О.В., Солодуха А.М., Лазарев А.П. Введение в практикум по курсу общей физики. Механика и молекулярная физика. Электричество и магнетизм: Практическое пособие к лабораторным работам. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2003. - 31 с.
Практикум по курсу общей физики по специальности "Фармация". Миловидова С.Д
Просмотреть (PDF)
Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В., Либерман З.А., Нестеренко Л.П.
Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В., Либерман З.А., Нестеренко Л.П. Практикум по курсу общей физики по специальности "Фармация". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 79 с.
Фотоэлектронная спектроскопия. Домашевская Э.П.
Просмотреть (PDF)
Домашевская Э.П.
Домашевская Э.П. Фотоэлектронная спектроскопия: Методическое пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 1999. - 45 с.
Введение в алгебру угловых моментов. Копытин И.В
Просмотреть (PDF)
Копытин И.В., Корнев А.С.
Копытин И.В., Корнев А.С. Введение в алгебру угловых моментов: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 111 с.
Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И
Просмотреть (PDF)
Дикарев Ю.И., Рубинштейн В.М., Цветков С.М.
Дикарев Ю.И., Рубинштейн В.М., Цветков С.М. Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума: Учебно-методическое пособие. - Воронеж: ИПЦ ВГУ, 2007. - 46 с.
Радиоактивность. Левин М.Н
Просмотреть (PDF)
Левин М.Н., Гитлин В.Р.
Левин М.Н., Гитлин В.Р. Радиоактивность: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2003. - 22 с.
Физико-химические методы анализа. Шапошник В.А
Просмотреть (PDF)
Шапошник В.А Хохлов В.Ю., Мокшина Н.Я., Селеменев В.Ф.
Шапошник В.А Хохлов В.Ю., Мокшина Н.Я., Селеменев В.Ф. Физико-химические методы анализа: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 35 с.
Негомогенная кинетика фото- и радиационно- стимулированных процессов в конденсированной фазе. Новиков Г.Ф.
Просмотреть (PDF)
Новиков Г.Ф.
Новиков Г.Ф. Негомогенная кинетика фото- и радиационно- стимулированных процессов в конденсированной фазе: Пособие для студентов и магистров 5-6 курсов. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 15 с.
Курс общей физики. Лазарев А.П
Просмотреть (PDF)
Лазарев А.П., Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В.
Лазарев А.П., Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В., Курс общей физики: Учебное пособие по специальности "Биология". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 87 с.
Электрофизические методы исследования МДП-структур. Бормонтов Е.Н.
Просмотреть (PDF)
Бормонтов Е.Н.
Бормонтов Е.Н. Электрофизические методы исследования МДП-структур: Учебно-методические материалы. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 27 с.
Формирование пространственного спектра (диаграммы направленности) в зоне френеля объектов с помощью линзовых и зеркальных систем. Часть 3. Струков И.Ф.
Просмотреть (PDF)
Струков И.Ф.
Струков И.Ф. Формирование пространственного спектра (диаграммы направленности) в зоне френеля объектов с помощью линзовых и зеркальных систем. Часть 3: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 35 с.
Методы измерения физических величин. Ларионов А.Н
Просмотреть (PDF)
Ларионов А.Н., Чернышeв В.В., Ларионова Н.Н.
Ларионов А.Н., Чернышeв В.В., Ларионова Н.Н. Методы измерения физических величин: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 23 с.
Нанотехнологии в физике. Изучение структурных типов углеродных нанотрубок. Битюцкая Л.А
Просмотреть (PDF)
Битюцкая Л.А., Машкина Е.С., Бормонтов Е.Н.
Нанотехнологии в физике. Изучение структурных типов углеродных нанотрубок: учебно-методическое пособие / Воронеж. гос. ун-т- сост.: Л.А. Битюцкая, Е.С. Машкина, Е.Н. Бормонтов. - Воронеж : ЛОП ВГУ, 2006. - 38 с.
Методические указания к курсу "Атомная спектроскопия". Шунина В.А
Просмотреть (PDF)
Шунина В.А., Тимошенко Ю.К.
Шунина В.А., Тимошенко Ю.К. Методические указания к курсу "Атомная спектроскопия". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 30 с.
Многофотонные процессы в атоме. Клюев В.Г.
Просмотреть (PDF)
Клюев В.Г.
Клюев В.Г. Многофотонные процессы в атоме: Методические указания. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 12 с.
Методические указания по обработке результатов измерений в общем физическом практикуме. Носова В.И
Просмотреть (PDF)
Носова В.И., Голицына О.М.
Носова В.И., Голицына О.М. Методические указания по обработке результатов измерений в общем физическом практикуме. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2000. - 24 с.
Распределения внедренных примесей с учетом эффекта каналирования. Асессоров В.В
Просмотреть (PDF)
Асессоров В.В., Быкадорова Г.В., Гольдфарб В.А., Кожевников В.А.
Асессоров В.В., Быкадорова Г.В., Гольдфарб В.А., Кожевников В.А. Распределения внедренных примесей с учетом эффекта каналирования: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 23 с.
Оптические методы исследования вещества. Волошина Т.В
Просмотреть (PDF)
Волошина Т.В., Кавецкая И.В., Леонова Л.Ю.
Волошина Т.В., Кавецкая И.В., Леонова Л.Ю. Оптические методы исследования вещества: Учебно-методическое пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 75 с.
Дифракция электромагнитного поля миллиметрового диапазона на плоских объектах. Струков И.Ф.
Просмотреть (PDF)
Струков И.Ф.
Струков И.Ф. Дифракция электромагнитного поля миллиметрового диапазона на плоских объектах: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 51 с.
Правила Киргофа. Чернышев В.В
Просмотреть (PDF)
Чернышев В.В., Доценко Н.С.
Чернышев В.В., Доценко Н.С. Правила Киргофа: Методические указания по решению задач в курсе общей физики. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2000. - 22 с.
Расчет основных характеристик сенсорных устройств. Шаров М.К
Просмотреть (PDF)
Шаров М.К., Тутов Е.А.
Шаров М.К., Тутов Е.А. Расчет основных характеристик сенсорных устройств: Учебно-методическое пособие к спецкурсу "Сенсоры и их применение для анализа газов". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 19 с.
Методы расчета диффузионных структур. Быкадорова Г.В
Просмотреть (PDF)
Быкадорова Г.В., Гольдфарб В.А., Кожевников В.А., Гашков А.Н.
Быкадорова Г.В., Гольдфарб В.А., Кожевников В.А., Гашков А.Н. Методы расчета диффузионных структур: Методические указания. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 23 с.
Методические рекомендации и контрольные работы по дисциплине "Физика". Миловидова C.Д
Просмотреть (PDF)
Миловидова C.Д., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В.
Миловидова C.Д., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В. Методические рекомендации и контрольные работы по дисциплине "Физика". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2008. - 50 с.