Методы расчета диффузионных структур. Быкадорова Г.В

UptoLike

Методы расчета диффузионных структур. Быкадорова Г.В

РЕШЕНИЕ (файл) вывод, красное-белое: 

Формат файла: 

PDF

Ключевые слова: 

  • методические указания

Количество страниц: 

23
В данных методических указаниях рассмотрены методы расчета концентрационных профилен и электрофизических параметров полупроводниковых структур, полученных диффузией. Каждый раздел содержит физическую и математическую модели технологического процесса, задания и контрольные вопросы. Для ряда типовых задач приведены решения с соответствующим программным обеспечением, написанным на языке Паскаль и ориентированным на использование персональных компьютеров типа IBM. Методические указания предназначены для проведения аудиторных занятий и самостоятельной работы студентов физического факультета 4 и 5 курсов по специальности 014100 "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы" и студентов 6 курса, обучающихся в магистратуре по направлению "Физика" (специализация "Полупроводниковые приборы и микроэлектроника") при изучении спецкурсов "Математическое моделирование технологических процессов в микроэлектронике", "Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем", "Физические основы микроэлектроники и наноэлектроники".

Рекомендуемые учебно-методические материалы

Алмалиев А.Н., Крыловецкий А.А., Мармо С.И., Овсянников В.Д.
Алмалиев А.Н., Крыловецкий А.А., Мармо С.И., Овсянников В.Д. Задачи физических олимпиад: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 55 с.
Левин М.Н., Гитлин В.Р., Иванков Ю.В., Иванова О.А.
Левин М.Н., Гитлин В.Р., Иванков Ю.В., Иванова О.А. Задачи по физике: Практикум по специальности "Математика". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 47 с.
Миловидова С.Д., Саввинов А.М., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В.
Миловидова С.Д., Саввинов А.М., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В. Практикум по курсу общей физики по специальностям "География", "Природопользование", "Геоэкология". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 79 с.
Будко В.Н.
Будко В.Н. Сборник описаний задач специального лабораторного практикума "Компьютерный эксперимент" темы 3, 4, 5. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2000. - 18 с.
Введенский А.В., Бобринская Е.В., Протасова И.В., Соцкая Н.В., Введенский А.В.
Введенский А.В., Бобринская Е.В., Протасова И.В., Соцкая Н.В., Введенский А.В. Равновесные электродные системы. Граница раздела заряженных фаз. Часть 3: Практикум по специальности "Химия". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2003. - 81 с.
Васильева В.И., Мокшина Н.Я., Бутырская Е.В.
Васильева В.И., Мокшина Н.Я., Бутырская Е.В. Кулонометрия: Практическое пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2003. - 15 с.
Миловидова С.Д., Либерман З.А., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В.
Миловидова С.Д., Либерман З.А., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В. Курс общей физики. Введение: Практическое пособие к лабораторным работам. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 31 с.
Сидоркин С.Д., Миловидова З.А., Либерман О.В., Рогазинская А.С.
Сидоркин С.Д., Миловидова З.А., Либерман О.В., Рогазинская А.С. Практикум по спецкурсу "Физика сегнетоэлектриков". Часть 1: Пособие к лабораторным работам. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 67 с.
Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Либерман З.А., Рогазинская О.В.
Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Либерман З.А., Рогазинская О.В. Курс общей физики: Практическое пособие к лабораторным работам. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 79 с.
Попова И.А., Шилов В.Д.
Попова И.А., Шилов В.Д. Практическое руководство к лабораторному практикуму по технике школьного эксперимента. Часть 1. Механика. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 15 с.
Либерман З.А., Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Дрождин С.Н., Рогазинская О.В., Солодуха А.М., Лазарев А.П.
Либерман З.А., Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Дрождин С.Н., Рогазинская О.В., Солодуха А.М., Лазарев А.П. Введение в практикум по курсу общей физики. Механика и молекулярная физика. Электричество и магнетизм: Практическое пособие к лабораторным работам. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2003. - 31 с.
Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В., Либерман З.А., Нестеренко Л.П.
Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В., Либерман З.А., Нестеренко Л.П. Практикум по курсу общей физики по специальности "Фармация". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 79 с.
Домашевская Э.П.
Домашевская Э.П. Фотоэлектронная спектроскопия: Методическое пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 1999. - 45 с.
Копытин И.В., Корнев А.С.
Копытин И.В., Корнев А.С. Введение в алгебру угловых моментов: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 111 с.
Дикарев Ю.И., Рубинштейн В.М., Цветков С.М.
Дикарев Ю.И., Рубинштейн В.М., Цветков С.М. Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума: Учебно-методическое пособие. - Воронеж: ИПЦ ВГУ, 2007. - 46 с.
Левин М.Н., Гитлин В.Р.
Левин М.Н., Гитлин В.Р. Радиоактивность: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2003. - 22 с.
Шапошник В.А Хохлов В.Ю., Мокшина Н.Я., Селеменев В.Ф.
Шапошник В.А Хохлов В.Ю., Мокшина Н.Я., Селеменев В.Ф. Физико-химические методы анализа: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 35 с.
Новиков Г.Ф.
Новиков Г.Ф. Негомогенная кинетика фото- и радиационно- стимулированных процессов в конденсированной фазе: Пособие для студентов и магистров 5-6 курсов. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 15 с.
Лазарев А.П., Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В.
Лазарев А.П., Миловидова С.Д., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В., Курс общей физики: Учебное пособие по специальности "Биология". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 87 с.
Бормонтов Е.Н.
Бормонтов Е.Н. Электрофизические методы исследования МДП-структур: Учебно-методические материалы. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 27 с.
Струков И.Ф.
Струков И.Ф. Формирование пространственного спектра (диаграммы направленности) в зоне френеля объектов с помощью линзовых и зеркальных систем. Часть 3: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 35 с.
Ларионов А.Н., Чернышeв В.В., Ларионова Н.Н.
Ларионов А.Н., Чернышeв В.В., Ларионова Н.Н. Методы измерения физических величин: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 23 с.
Битюцкая Л.А., Машкина Е.С., Бормонтов Е.Н.
Нанотехнологии в физике. Изучение структурных типов углеродных нанотрубок: учебно-методическое пособие / Воронеж. гос. ун-т- сост.: Л.А. Битюцкая, Е.С. Машкина, Е.Н. Бормонтов. - Воронеж : ЛОП ВГУ, 2006. - 38 с.
Шунина В.А., Тимошенко Ю.К.
Шунина В.А., Тимошенко Ю.К. Методические указания к курсу "Атомная спектроскопия". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 30 с.
Клюев В.Г.
Клюев В.Г. Многофотонные процессы в атоме: Методические указания. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 12 с.
Носова В.И., Голицына О.М.
Носова В.И., Голицына О.М. Методические указания по обработке результатов измерений в общем физическом практикуме. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2000. - 24 с.
Асессоров В.В., Быкадорова Г.В., Гольдфарб В.А., Кожевников В.А.
Асессоров В.В., Быкадорова Г.В., Гольдфарб В.А., Кожевников В.А. Распределения внедренных примесей с учетом эффекта каналирования: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 23 с.
Волошина Т.В., Кавецкая И.В., Леонова Л.Ю.
Волошина Т.В., Кавецкая И.В., Леонова Л.Ю. Оптические методы исследования вещества: Учебно-методическое пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 75 с.
Струков И.Ф.
Струков И.Ф. Дифракция электромагнитного поля миллиметрового диапазона на плоских объектах: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 51 с.
Чернышев В.В., Доценко Н.С.
Чернышев В.В., Доценко Н.С. Правила Киргофа: Методические указания по решению задач в курсе общей физики. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2000. - 22 с.
Шаров М.К., Тутов Е.А.
Шаров М.К., Тутов Е.А. Расчет основных характеристик сенсорных устройств: Учебно-методическое пособие к спецкурсу "Сенсоры и их применение для анализа газов". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 19 с.
Быкадорова Г.В., Гольдфарб В.А., Кожевников В.А., Гашков А.Н.
Быкадорова Г.В., Гольдфарб В.А., Кожевников В.А., Гашков А.Н. Методы расчета диффузионных структур: Методические указания. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 23 с.
Миловидова C.Д., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В.
Миловидова C.Д., Сидоркин А.С., Рогазинская О.В. Методические рекомендации и контрольные работы по дисциплине "Физика". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2008. - 50 с.