Основы физики и химии полупроводников - 53 стр.

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ɩɨɩɪɚɜɤɚ ɧɚ ɮɥɭɨɪɟɫɰɟɧɰɢɸ ɡɚ ɫɱɟɬ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɱɟɫɤɨɝɨ
ɫɩɟɤɬɪɚ ɞɪɭɝɢɯ ɷɥɟɦɟɧɬɨɜ ɜ ɨɛɪɚɡɰɟ;
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ɩɨɩɪɚɜɤɚ ɧɚ ɮɥɭɨɪɟɫɰɟɧɰɢɸ ɡɚ ɫɱɟɬ ɬɨɪɦɨɡɧɨɝɨ ɪɟɧɬɝɟɧɨɜɫɤɨɝɨ
ɡɥɭɱɟɧɢɹ;
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ɩɨɩɪɚɜɤɚ ɧɚ ɬɨɪɦɨɠɟɧɢɟ ɷɥɟɤɬɪɨɧɨɜ ɩɭɱɤɚ ɜ ɨɛɪɚɡɰɟ.
ɇɟɤɨɬɨɪɵɟ ɬɢɩɵ ɦɢɤɪɨɚɧɚɥɢɡɚɬɨɪɨɜ ɦɨɝɭɬ ɪɚɛɨɬɚɬɶ ɜ ɪɟɠɢɦɟ
ɪɚɫɬɪɨɜɨɝɨ ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɨɝɨ ɦɢɤɪɨɫɤɨɩɚ ɫ ɪɚɡɪɟɲɚɸɳɟɣ ɫɩɨɫɨɛɧɨɫɬɶɸ 10 ɧɦ.
ɋɥɟɞɭɟɬ ɨɬɦɟɬɢɬɶ, ɱɬɨ ɪɚɫɬɪɨɜɵɣ ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɵɣ ɦɢɤɪɨɫɤɨɩ ɢ ɩɪɢɛɨɪ ɞɥɹ
ɦɢɤɪɨɪɟɧɬɝɟɧɨɫɩɟɤɬɪɚɥɶɧɨɝɨ ɚɧɚɥɢɡɚɪɟɧɬɝɟɧɨɜɫɤɢɣ ɦɢɤɪɨɚɧɚɥɢɡɚɬɨɪ
ɢɦɟɸɬ ɦɧɨɝɨ ɨɛɳɟɝɨ, ɧɚɱɢɧɚɹ ɨɬ ɩɪɢɧɰɢɩɢɚɥɶɧɵɯ ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɨɨɩɬɢɱɟɫɤɢɯ
ɫɯɟɦ ɢ ɤɨɧɱɚɹ ɫɢɫɬɟɦɚɦɢ ɩɪɢɫɬɚɜɨɤ, ɩɨɡɜɨɥɹɸɳɢɯ ɩɪɨɜɨɞɢɬɶ
ɦɢɤɪɨɫɩɟɤɬɪɚɥɶɧɵɣ ɚɧɚɥɢɡ ɜɟɳɟɫɬɜ ɜ ɊɗɆ ɢ ɩɨɥɭɱɚɬɶ ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɵɟ
ɢɡɨɛɪɚɠɟɧɢɹ ɦɢɤɪɨɫɬɪɭɤɬɭɪɵ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ ɨɛɴɟɤɬɚ ɜ ɪɚɫɫɟɹɧɧɵɯ
ɷɥɟɤɬɪɨɧɚɯ ɜ ɆȺɊ.
5.1.3. Ɋɟɧɬɝɟɧɨɫɬɪɭɤɬɭɪɧɵɣ ɚɧɚɥɢɡ
ɉɪɢ ɩɨɩɚɞɚɧɢɢ ɧɚ ɤɪɢɫɬɚɥɥɢɱɟɫɤɨɟ ɬɟɥɨ ɪɟɧɬɝɟɧɨɜɫɤɢɯ ɥɭɱɟɣ,
ɩɨɦɢɦɨ ɩɪɨɱɢɯ ɩɪɨɰɟɫɫɨɜ, ɩɪɨɢɫɯɨɞɢɬ ɞɢɮɪɚɤɰɢɹ ɧɚ ɚɬɨɦɧɵɯ ɩɥɨɫɤɨɫɬɹɯ
ɤɪɢɫɬɚɥɥɚ. ɍɫɥɨɜɢɹ ɨɬɪɚɠɟɧɢɹ ɩɨɞɱɢɧɹɸɬɫɹ ɭɪɚɜɧɟɧɢɸ ȼɭɥɶɮɚȻɪɷɝɝɚ :
2d
hkl
×sin
4
= n
O
, (5.3)
ɝɞɟ d
hkl
ɦɟɠɩɥɨɫɤɨɫɬɧɨɟ ɪɚɫɫɬɨɹɧɢɟ;
4
ɭɝɨɥ ɨɬɪɚɠɟɧɢɹ;
O
ɞɥɢɧɧɚ ɜɨɥɧɵ ɪɟɧɬɝɟɧɨɜɫɤɨɝɨ ɢɡɥɭɱɟɧɢɹ;
n ɩɨɪɹɞɨɤ ɨɬɪɚɠɟɧɢɹ;
h, k, lɢɧɞɟɤɫɵ Ɇɢɥɥɟɪɚ ɚɬɨɦɧɨɣ ɩɥɨɫɤɨɫɬɢ.
Ʉɚɠɞɚɹ ɮɚɡɚ ɨɛɥɚɞɚɟɬ ɫɜɨɟɣ ɢɧɞɢɜɢɞɭɚɥɶɧɨɣ ɫɬɪɭɤɬɭɪɨɣ, ɫɥɟɞɨɜɚ-
ɬɟɥɶɧɨ, ɢ ɫɟɦɟɣɫɬɜɨɦ ɚɬɨɦɧɵɯ ɩɥɨɫɤɨɫɬɟɣ, ɨɛɪɚɡɭɸɳɢɯ ɞɚɧɧɭɸ ɤɪɢɫɬɚɥ-
ɥɢɱɟɫɤɭɸ ɪɟɲɟɬɤɭ. ȼ ɫɜɨɸ ɨɱɟɪɟɞɶ, ɫɟɦɟɣɫɬɜɨ ɚɬɨɦɧɵɯ ɩɥɨɫɤɨɫɬɟɣ ɯɚ-
ɪɚɤɬɟɪɢɡɭɟɬɫɹ ɨɩɪɟɞɟɥɟɧɧɵɦ ɧɚɛɨɪɨɦ ɦɟɠɩɥɨɫɤɨɫɬɧɵɯ ɪɚɫɫɬɨɹɧɢɣ,
ɩɪɢɫɭɳɢɯ ɬɨɥɶɤɨ ɞɚɧɧɨɣ ɪɟɲɟɬɤɟ. Ɂɧɚɧɢɟ ɷɬɢɯ ɪɚɫɫɬɨɹɧɢɣ ɩɨɡɜɨɥɹɟɬ
ɨɯɚɪɚɤɬɟɪɢɡɨɜɚɬɶ ɤɪɢɫɬɚɥɥɢɱɟɫɤɭɸ ɪɟɲɟɬɤɭ ɢɫɫɥɟɞɭɟɦɨɝɨ ɨɛɴɟɤɬɚ ɢ ɜɨ
ɦɧɨɝɢɯ ɫɥɭɱɚɹɯ ɢɞɟɧɬɢɮɢɰɢɪɨɜɚɬɶ ɜɟɳɟɫɬɜɨ ɢɥɢ ɮɚɡɭ.
ɋɩɨɫɨɛɵ ɩɨɥɭɱɟɧɢɹ ɞɢɮɪɚɤɰɢɨɧɧɨɣ ɤɚɪɬɢɧɵ ɦɨɠɧɨ ɭɫɥɨɜɧɨ
ɩɨɞɪɚɡɞɟɥɢɬɶ ɧɚ 4 ɨɫɧɨɜɧɵɯ ɦɟɬɨɞɚ ɪɟɧɬɝɟɧɨɫɬɪɭɤɬɭɪɧɨɝɨ ɚɧɚɥɢɡɚ:
1. ɋɴɟɦɤɚ ɧɟɩɨɞɜɢɠɧɨɝɨ ɦɨɧɨɤɪɢɫɬɚɥɥɚ ɜ ɩɨɥɢɯɪɨɦɚɬɢɱɟɫɤɨɦ
(ɫɩɥɨɲɧɨɦ) ɫɩɟɤɬɪɟ (ɦɟɬɨɞ Ʌɚɭɷ).
2. ɋɴɟɦɤɚ ɜɪɚɳɚɸɳɟɝɨɫɹ (ɤɚɱɚɸɳɟɝɨɫɹ) ɦɨɧɨɤɪɢɫɬɚɥɥɚ ɜ
ɩɚɪɚɥɥɟɥɶɧɨɦ ɩɭɱɤɟ ɦɨɧɨɯɪɨɦɚɬɢɱɟɫɤɨɝɨ (ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɱɟɫɤɨɝɨ)
ɢɡɥɭɱɟɧɢɹ (ɦɟɬɨɞ ɜɪɚɳɟɧɢɹ).
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