Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 112 стр.

UptoLike

114
Рис.66. Конструкция керамического датчика емкостного типа: 1 – ко-
рундовая подложка, 2 – электроды, 3 – покрытие, 4 –частицы корунда, 5 –
влагочувствительная стеклокерамика.
Рис.67. Схема строения мицел