Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 18 стр.

UptoLike

20
Рис.4. Зависимость напряжения Холла U
H
от магнитной индукции B при
различных толщинах пленки
Рис.5. Влияние толщины пленок арсенида индия на полуизолирующем
арсениде галлия на холловскую подвижность электронов
Рис.6. Датчик Холла ХИС, вид со стороны эпитаксиального слоя (Т, Х -
токовые и холловские выводы соответственно)