ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
5
СОДЕРЖАНИЕ Стр.
ВВЕДЕНИЕ..............….............................................................. 3
1. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ДАТЧИКОВ................................ 4
2. МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ
МАГНИТНОГО ПОЛЯ...................................................…........
6
2.1. Преобразователи магнитного поля на основе эффекта Хол- 6
2.1.1. Эффект Холла............................................................................ 6
2.1.2. Пленочные датчики Холла......................................................... 10
2.1.3. Кремниевые интегральные ДХ…............................................... 13
2.2. Магниторезистивные преобразователи....….............................. 18
2.2.1. Магниторезистивный эффект.......................….......................... 18
2.2.2. Конструкции магниторезисторов.........................….................. 19
2.2.3. Параметры магниторезисторов...............................…............... 19
2.3. Гальваномагнитные преобразователи на активных элементах. 20
2.3.1. Магнитодиоды........................................................…................ 20
2.3.2. Магнитотранзисторы............................................//..................... 21
2.4. Гальваномагниторекомбинационные
преобразователи............. 23
2.4.1. Гальваномагниторекомбинационный (ГМР) эффект................. 23
2.4.2. Гальваномагниторекомбинационный преобразователь
(ГМРП) ........…….......................................................................
27
2.4.3. Кремниевые интегральные ГМРП….......................................... 28
2.5. Магниточувствительные интегральные схемы.................…..... 31
2.5.1. Магнитокоммутируемые ИС на основе эффекта Холла............ 31
2.5.2. Линейные магниточувствительные ИС...................................... 35
3. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ.............. 38
3.1. Тензорезистивный эффект в полупроводниках......................... 38
3.2. Первичные тензопреобразователи............................................. 47
3.3. Классификация интегральных тензопреобразователей давле-
ния..........................................................................................
49
3.3.1. Пути интеграции тензопреобразователей.................................. 49
3.3.2. Классификация структур интегральных
тензопреобразовате-
лей..................................................................
53
3.3.3. Технологические этапы изготовления интегральных
тензопреобразователей...............................................................
55
