Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 4 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

6
3.4. Принципы размешения тензорезисторов на мембранах
полупроводниковых нтегральных тензопреобразователей
давления (ИТП)..........................................................................
56
3.5. Функция преобразования тензопреобразователей давления..... 61
3.6. Примеры интегральных преобразователей давления..….......... 62
3.6.1. Интегральные тензопреобразователи, изготавливаемые в
.НИИ МВС ТРТУ..........................................................….........
62
3.6.2. Интегральные преобразователи давления с профилированной
мембраной фирмы ENDEVCO...................................................
65
3.6.3. X-ducer фирмы Motorola............................................................ 66
3.6.4. Датчик давления типа MBS фирмы Danfoss.............................. 66
4. МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ДАТЧИКИ ХИМИЧЕСКОГО
СОСТАВА ГАЗОВ.....................................................................
68
4.1. Адсорбция на поверхности твердых тел................................... 68
4.1.1. Роль электронов и дырок при адсорбции................................... 70
4.1.2. Взаимодействие поверхности с объемом................................... 72
4.1.3. Химические реакции на поверхности полупроводников........... 73
4.2. Датчики на основе окислов металлов........................................ 78
4.3. Датчики на органических полупроводниках.............................. 78
4.4. Каталитические датчики............................................................ 80
4.5. Электрохимические газовые датчики....................................... 80
4.6. Датчики на основе МДП-структур............................................. 82
4.7. Газовые датчики с барьером Шоттки........................................ 85
4.8. Газовые
датчики на основе приборов, чувствительных к
изменению массы.......................................................................
87
4.9. Оптические газовые датчики..................................................... 88
5. ВЛАГОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СЕНСО-
РЫ
90
5.1. Единицы измерения влажности................................................. 91
5.2. Методы измерения влажности................................................... 93
5.3. Температурно-градиентные датчики влажности...................... 93
5.3.1. Психрометрические датчики...................................................... 93
5.3.2. Конденсационные датчики........................................................ 94
5.4. Микроэлектронные сорбционные датчики влажности............. 97
5.4.1. Кулонометрические датчики...................................................... 98
5.4.2. Сорбционно-импедансные датчики........................................... 99
5.4.3. Пьезосорбционные датчики....................................................... 110

Страницы