Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 47 стр.

UptoLike

49
Рис.19. Зависимость от температуры и поверхностной концентрации
примеси главных пьезорезистивных коэффициентов
44
π
диффузионных сло-
ев кремния р-типа проводимости (а) и
11
π
n-типа проводимости (б)
Рис.20. Зависимость потенциальной энергии от расстояния между атомами