Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 55 стр.

UptoLike

57
Воспри-
нимаю-
щий эле
-
мент
Пере-
даю-
щий
эле-
мент
Упру
гий
эле-
мент
Преоб-
разую-
щий
элемент
Элементы
внутрен-
ней кон-
струкции
Вторич-
ный
преобра-
зователь
Под-
строеч-
ный
элемент
Элементы
внешней
конструк-
ции
|_____________________|________|_________|_________________|_________|
I II III IV V
Рис. 24. Структурная схема интеграции элементов тензорезистивного
преобразователя давления
Рис.25. Конструкции датчиков давления на различных этапах интеграции:
1- тензорезистор; 2- мембрана; 3-основание; 4-крышка