Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 53 стр.

UptoLike

55
Рис.21. Схема размещения тензорезистора
Рис.22. Структурная схема тензодиода
Рис.23.Структурная схема тензорезистивного преобразователя давле-
ния: 1 - корпус, 2 - мембрана, 3 - шток, 4 - балка, 5 - тензорезистор, 6 - креп-
ление мембраны и балки, 7 - выход, 8 - постоянный или подстраиваемый
резистор