Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 63 стр.

UptoLike

65
X
<110>
x
a
y
b
Y <110>
ϕ
X'
Рис.30. Определение местоположения точечного тензорезистора на
квадратной мембране
Рис.31. Топограммы нормированной чувствительности тензорезисторов
p-типа на квадратной мембране
Рис.32. Зависимость модуля нормированной чувствительности прямо-
угольной пластинки в серединах боковых сторон
),(
ba
SS и в центре )(
0
S
от соотношения длин сторон
c