ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
71
Кроме указанных выше преимуществ, преобразователи с концентрато-
рами напряжений обладают лучшей линейностью и существенно большим
диапазоном линейного преобразования по сравнению с преобразователями
на основе плоских мембран.
3.6.3. X-ducer фирмы Motorola
Фирма Motorola выпускает датчики абсолютного, относительного,
дифференциального давлений серии MPX [12].
В основе чувствительных элементов фирма ''Motorola'' использует так
называемый X-ducer (рис. 36). В отличие от стандартных датчиков давления,
которые используют четыре близко расположенных резистора в конфигура-
ции моста Уитстона, в датчиках серии MPX используется только одиночный
пьезорезистивный элемент, полученный ионным легированием, расположен-
ный на кремниевой мембране
и имеющий Х-образную форму.
Напряжение питания (ток питания) подается на X-ducer на ответвления
1 и 3. При воздействии давления мембрана прогибается и в ответвлениях 2 и
4 возникает поперечное напряжение. X-ducer фирмы ''Motorola'' можно рас-
сматривать как механический аналог датчика, основанного на эффекте Хол-
ла.
Преимущества X-ducer заключаются в следующем. Использование оди-
ночного элемента позволяет исключить потребность
в получении идентич-
ных по своим параметрам четырех тензорезисторов для моста Уитстона. Это
же самое значительно упрощает схему температурной компенсации чувстви-
тельности и температурной компенсации дрейфа нуля. Фирма Motorola для
температурной компенсации использует напыленные вакуумным способом
пленочные резисторы, которые подстраивают лазером для получения необ-
ходимых характеристик датчика давления. При этом в
температурном
диапазоне 0 - 80 °C погрешность измерения давления обеспечивается в
пределах ±1% и ±2% в температурном диапазоне -50÷+125° С. Недостатком
датчиков давления серии МРХ является невозможность их использования
для измерения жидких сред.
Кристалл датчика давления серии МРХ расположен на кремниевом кри-
сталлодержателе, который приклеен к корпусу датчика. Внутренняя полость
заполнена
кремнийорганической жидкостью - компаундом. Пластмассовый
корпус закрыт крышкой из нержавеющей стали. В корпус впресованы внеш-
ние выводы, которые с помощью золотых проволочек соединяются с выво-
дами 1-4 кристалла датчика давления.
Датчики давления фирмы Motorola выходят готовыми к эксплуатации и
не требуют дополнительных схем термокомпенсации.
3.6.4. Датчик давления типа MBS фирмы Danfoss
В чувствительном элементе датчика давления типа MBS фирмы
DANFOSS используется прямоугольная мембрана ( рис.37) [13].
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 67
- 68
- 69
- 70
- 71
- …
- следующая ›
- последняя »
