Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 70 стр.

UptoLike

72
Рис.35. Принцип устройства чувствительного элемента преобразовате-
лей ENDEVCO: 1- области расположения тензорезисторов с обратной (пла-
нарной) стороны пластины; 2- тензорезисторы; 3- контактные площадки
Рис.36. Схема X-ducer
Рис.37. Датчик давления типа MBS фирмы DANFOSS