ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
9
Для сопряжения с АТС необходимо использовать такие чувствительные
элементы, в которых под влиянием внешних воздействий меняется один из
электрических параметров.
С другой стороны, требования, предъявляемые к современной РЭА, та-
кие как: повышение надежности и помехоустойчивости, снижение цены, га-
баритов, потребляемой мощности - распространяются и на датчики.
Выполнение этих условий становится возможным при
использовании
микроэлектронных схемотехники и технологии, поскольку, во-первых, элек-
трофизические свойства полупроводников и полупроводниковых приборов,
на которых основана микросхемотехника, сильно зависят от внешних воз-
действий, во-вторых, микроэлектронная технология основана на групповых
методах обработки материалов для изготовления приборов, что снижает их
себестоимость, габариты, потребляемую мощность и ведет к повышению
надежности
и помехоустойчивости.
Кроме того, при использовании полупроводникового сенсора или сенсо-
ра, изготовление которого совместимо с технологическим процессом созда-
ния интегральных микросхем (ИМС), сам сенсор и схемы обработки полу-
ченного сигнала могут быть изготовлены в едином технологическом цикле,
на едином полупроводниковом или диэлектрическом кристалле.
Наука, занимающаяся разработкой первичных преобразователей и
схем обработки
полученных от них сигналов в микроэлектронном исполне-
нии, получила название микроэлектронной сенсорики.
Таким образом, одной из основных задач микроэлектронной сенсорики
является изучение влияния на полупроводниковые структуры различных
внешних воздействий и выявление принципов создания на основе этих фи-
зических эффектов первичных преобразователей различных неэлектрических
величин в электрический сигнал.
1. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ДАТЧИКОВ
На датчик могут одновременно воздействовать различные факторы
(давление, температура, влажность, вибрация, радиация и т.д.), но восприни-
мать он должен только одну величину, называемую естественно измеряемой
величиной А [1].
Функциональную зависимость выходной величины В датчика от есте-
ственной измеряемой величины А в статических условиях, выраженную ана-
литически, таблично или графически, называют
статической характеристи-
кой датчика.
Статическая чувствительность представляет собой отношение малых
приращений выходной величины к соответствующим малым приращениям
входной величины в статических условиях:
S
B
A
dB
dA
==
Δ
Δ
.
Понятие статической чувствительности аналогично понятию коэффи-
циента усиления, градиента, коэффициента чувствительности.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 5
- 6
- 7
- 8
- 9
- …
- следующая ›
- последняя »
