Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 8 стр.

UptoLike

10
Понятие чувствительности можно распространить на динамические ус-
ловия работы. При этом под динамической чувствительностью подразуме-
вают отношение скорости изменения выходного сигнала к соответствую-
щей скорости изменения входного сигнала:
S
dB dt
dA dt
d
=
.
Под порогом чувствительности понимают минимальное изменение
измеряемой величины (входного сигнала), вызывающее изменение выходно-
го сигнала.
Нормальными условиями эксплуатации датчика являются: температура
окружающей среды +25 ± 10 °С, атмосферное давление 750 ± 30 мм. рт. ст.,
относительная влажность окружающего воздуха 65 ± 15%, отсутствие вибра-
ции и полей, кроме гравитационного.
Дополнительные погрешности датчика - это погрешности, вызываемые
изменением внешних условий по сравнению с нормальными. Они выража-
ются в процентах, отнесенных к изменению неизмеряемого параметра (на-
пример, температурная погрешность 1% на 5°С; погрешность от магнитного
поля 0.5% на 5 Э и т.д.)
Существуют различные подходы к классификации датчиков при их раз-
работке.
Во-первых, датчики можно классифицировать по технологии
изготов-
ления, гибридно - пленочные, твердотельные биполярные, твердотельные
МДП и т.д.
Во-вторых, они могут быть классифицированы по выходному электри-
ческому параметру: емкостные, резистивные, индуктивные и т.д..
В-третьих, классификацию можно проводить по измеряемому парамет-
ру: датчики температуры, давления, тензодатчики, фотометрические датчики,
датчики перемещения, магнитного поля, радиации и т.
д.
Таким образом, параметров, измеряемых с помощью датчиков, множе-
ство, однако в основе всех современных микроэлектронных датчиков лежат
полупроводниковые сенсоры, работающие на нескольких фундаментальных
эффектах - это влияние на полупроводник:
1) магнитного поля;
2) деформации, давления;
3) окружающей газовой среды;
4) температуры, света и т.д..