Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 82 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис.41. Классификация датчиков химического состава газа в соответст-

вии с физико-химической природой процессов, происходящих в структуре

датчика

Рис.42. Резистивный датчик этанола: 1 — слой SiO

(1 мкм); 2— поли-

кремний; 3 — пиролитический SiO

(1 мкм); 4 — плёнка SnO

; 5 — контакты

Al/Cr; 6 — островки PdAu